
业务转型成效显现,半导体设备业务有 望成为新增长极
1.1、 从能源转型到半导体设备领域
公司前身为“顺昌控股有限公司”,2016 年 7 月,IDG 资本、宝钢、高振顺入股公司, 进行反向收购,募集资金 29.4 亿港元,处置原有酒店业务并更名为“IDG 能源投资集团有 限公司”。2021 年 12 月,曾任国际顶尖半导体设备商 LAM 集团全球副总裁兼中国区总经理 的刘二壮博士获任命公司 CEO,领导公司开启半导体设备与太阳能设备业务。2022 年 7 月, 公司正式更名为“普达特科技”并全面转向泛半导体设备制造。半导体清洗设备方面,2023 年 1 月,公司首台半导体单片晶圆清洗设备 CUBE 交付客户。2023 年 8 月,公司首台半导体 12 寸晶圆单片清洗设备 OCTOPUS 交付客户,可搭载 16 个高性能工艺腔体。半导体湿法设备 平台 CUBE 和 OCTOPUS 于 2024 年 6 月分别荣获“2023-2024 年中国半导体市场最佳应用奖” 和“2023-2024 年中国半导体市场创新产品奖”。2026 年 2 月,公司首台 12 寸高温硫酸清 洗设备交付客户。半导体 LPCVD 炉管设备方面,2025 年,公司成功向客户交付两台 12 寸设 备样机,分别应用于 LP-SiN 与 ALD-SiN 关键薄膜沉积工艺,性能均对标国际主流厂商。至 今,公司半导体设备获得晶圆厂客户重复订单,已服务十余家半导体行业客户。
公司股权集中,Titan Gas Technology Investment Limited 为最大控股股东,持股比 例达33.84%,为IDG资本核心控股平台。第二大股东为Q-Run Holding Ltd.,持股20.03%, 由鸿准精密工业股份有限公司全资控股。IDG Magic V Fund L.P.以 5.34%的持股比例位列 第三大股东,为 IDG 资本旗下投资基金。刘二壮博士作为带领公司实现半导体与光伏设备量 产交付的核心领军人持有公司 147,600,000 股普通股或相关普通股权益。 公司拥有强大的股东支持、充沛的资金与高效的决策机制。半导体设备行业具有极高 的资金密集型和技术密集型特征,长周期的研发和试错需要极其强大的资本定力。以 IDG 资 本及一致行动人为首的控股股东阵营为公司提供了坚实的资金后盾,助力公司切入半导体设备领域。同时,公司二股东为公司提供强大的产业信任背书,富士康作为全球制造巨头 的身份,为普达特科技在高端设备制造环节提供了隐形的背书,极大增强了下游大型晶圆 厂采购公司设备的信心。此外,普达特科技通过精妙的股权与期权设计,以股权激励绑定 刘二壮博士为首的技术团队和高管,让技术骨干参与公司发展红利。
普达特科技的核心竞争力源于其具备国际顶尖大厂背景的技术团队。新业务核心成员 均来自泛林半导体(Lam Research)、台积电(TSMC)、迪恩士(DNS)等全球顶尖泛半导 体企业,平均从业经验超 20 年,绝大多数拥有硕士以上学历,具备从技术创新、工程设计 到工艺应用的全链条产品研发领导能力。研发团队规模约 140 余人,研发及技术人员占比较 高,为新产品快速开发和迭代提供坚实保障。 公司转型领军人物为董事会主席兼首席执行官刘二壮博士。刘博士毕业于西安交通大 学半导体物理及设备专业,获英国邓迪大学博士学位,并曾在美国哈佛大学从事博士后研 究。产业履历方面,他曾两度任职于泛林半导体,最高担任副总裁及中国区总经理;此后 历 任 创 新 半 导 体 集 团 ( Cree ) 中 国 区 总 经 理 、 新 加 坡 特 许 半 导 体 ( Chartered Semiconductor)工程营运管理要职、上海先进半导体制造股份有限公司营运总监,以及清 华紫光集团执行副总裁,兼具国际设备大厂、晶圆制造及本土产业运营经验。 董事会层面,独立非执行董事王国平先生(工学硕士、高级工程师)作为中国半导体 行业协会高级顾问,曾长期担任华润微电子首席执行官、董事长及研发中心总经理,为公 司提供本土产业视角与战略指导。在顶尖团队带领下,公司构建了完善的研发激励机制与 知识产权护城河:累计申请专利 124 项,已获授权 70 项,推动了 12 英寸单片清洗设备、高 温硫酸清洗设备(HT SPM)及 LPCVD 等卡脖子领域的国产化突破。
1.2、 半导体湿法、LPCVD 炉管设备与光伏装备双轮驱动
公司主营业务主要分为半导体设备产品和太阳能设备、能源资产。 半导体设备产品主要分为清洗设备:CUBE 半导体晶圆清洗机、OCTOPUS 12 寸高产能湿 法处理平台、PARALLELO 半导体晶圆槽式清洗机;与炉管设备: LPCVD 设备平台(GalileeLP)与 ALD 设备平台(Galilee-ALD)。 CUBE 半导体晶圆清洗机主要应用于 SiC/功率器件/数模混合芯片等领域,拥有可用于 6"、8"和 12"晶圆的通用框架,标配 4 腔室平台并可选 2 腔室。该设备致力于为客户提供对 标国际性能水平的背面清洗与蚀刻工艺,同时具备超薄晶圆的处理能力、优异的伯努利传 输与晶圆边缘管控技术。通过架构创新,能够满足行业对更低 CoT 和更高产能设备的需求。 OCTOPUS 高产能湿法处理平台应用于 12 英寸晶圆规模化产线,针对无机化学品/RCA 清 洗、配方类化学品清洗、晶圆背面清洗等单片清洗的主要工艺,对标国际龙头设备供应商。 该设备拥有低成本和高生产力结合的优化设计,标配 16 个腔室,拥有业界同类设备最高产 能前后 8 腔各自独立系统,方便升级与配置,灵活适用客户的不同产能需要,腔室和化学品 供液系统的模组化设计能够保持更好的回收效率和循环稳定性,创新了双子机械手,能够 提供更高产能。该平台拥有针对关键制程高温硫酸清洗的 OCTOPUS-SP 设备,可广泛应用于 28/14/7/5 nm 先进节点,工艺上实现国际同等水平、国内领先的高温能力与温度控制稳定 性。
PARALLELO 半导体晶圆槽式清洗机则拥有高达每小时 700 片晶圆的处理能力,模组化和 缓冲槽设计,适用于灵活配置和产能提升,设备 Uptime 可提升 3%,具备先进的金属污染 控制,晶圆表面金属离子<1E8 atom/cm2。通过创新的快速干燥技术与大数据实时监控预测, 可显著提升清洗效率和工艺良率,并降低运行成本。 Galilee 半导体 LPCVD 炉管设备,拥有 Galilee-LP 与 Galilee-ALD 两大先进设备产品 线,服务于 12 英寸逻辑制程、DRAM、3D NAND 领域,应用覆盖 65nm~7nm 先进节点的关键薄 膜沉积工艺,可沉积 SiN、Poly、TEOS 等多种系列膜层材料,该类设备市场主要由海外供应 商占据,国产化率极低。公司设备可实现更高的填充深宽比、均匀性、台阶覆盖率与更低 的污染,在先进性能指标达到国际标准的同时,拥有更高的批次生产效率,且具备多种工艺选择的兼容性。在先进应用开发方面,公司已完成开发用于 14/7nm 节点的 Low-K ALD SiOCN 炉管设备,用于满足大规模集成电路对高性能绝缘层的需求,目前该设备仍由海外设 备商垄断。
太阳能设备产品主要分为 BATCH 平台、NIAK 平台、InCellPlate 平台。 BATCH 平台是业界首创六篮大产能槽式清洗设备,单机产能可达 16000 wph 以上,单片 化学品/DI 耗量节省>15%,加热能耗节省>20%,兼容各种硅片尺寸,最大至 230mm,引领单 机产能逼近 1GW。
NIAK 平台是业界首创双层链式清洗设备,单机产能可达 15000wph 以上,显著节省单位产能设备占地面积和厂务设施成本。BATCH 设备与 NIAK 设备的组合,可为太阳能电池片制 造厂商提供整线湿法工艺,实现清洗制绒、去 BSG、去 PSG,并可覆盖太阳能电池片 TOPCon、 BC、HJT 全部技术路线,全方位综合降低客户的拥有和使用成本、提高太阳能湿法设备生产 力。 InCellPlate 则应用新一代正面金属化技术,实现基于成熟链式平台的水平电镀,可根 据客户需求进行产能以及工艺模块的定制,可搭配废水处理实现金属离子零排放,镀铜可 实现 15ASD 的电流密度,沉积速度超过 3um/min。InCellPlate 平台应用在客户端 PERC 和 TOPCon电池结构中,已稳定实现 0.2%的效率提升且通过组件可靠性验证;应用在 XBC 和 SHJ 电池结构中,可大幅降低银浆的使用量。
公司的能源资产主要为内蒙古油田资产,是公司于 2016 年 7 月完成收购 Hongbo Mining 全部股权,Hongbo Mining 主要于中国内蒙古从事原油勘探、开发及生产。该能源资产位于 内蒙古二连盆地,区块占地面积 590 平方公里。
1.3、 公司业绩短期承压,半导体设备业务有望成为新 增长极
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(报告来源:华鑫证券。本文仅供参考,不代表我们的任何投资建议。如需使用相关信息,请参阅报告原文。)



