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英飞凌:SiC功率器件可靠性白皮书(8)- SiC的抗宇宙射线能力

   日期:2026-06-16 13:48:41     来源:网络整理    作者:本站编辑    评论:0    
英飞凌:SiC功率器件可靠性白皮书(8)- SiC的抗宇宙射线能力

半导体器件在其整个生命周期中都会受到核粒子辐射,这种辐射源自于高能宇宙粒子撞击大气层外围,一路传播、一路发生核反应,在低海拔处下起一场"粒子雨",见图26。

对于地球大气层以上的空间应用,宇宙辐射主要是质子、离子和伽马射线。

地面应用(包括飞机飞行高度),大气层能挡掉大部分,辐射环境以中子为主,海平面通量约20个中子/cm2/小时,但图27显示,中子通量随海拔指数级增长,所以在考虑宇宙辐射导致的失效率时必须考虑海拔高度。

尽管地面上的中子通量密度相当低,但很多功率半导体应用要求单器件失效率低到1~100 FIT甚至更低(1 FIT = 109小时里坏1个)。

图28展示了功率半导体在阻断或反向偏压下的基本失效机理。图中是一个阻断状态的pin二极管,电场呈三角或梯形分布(蓝线),此时,入射进来的宇宙粒子可能触发与晶格原子的核反应,反冲离子 (recoil ions) 产生电子-空穴等离子体,电场在等离子体中被局部屏蔽,但在等离子体边缘,电场反而变得更强(红线),可能引发雪崩击穿,形成所谓的"流注" (streamer),一路烧穿有源区。

反冲离子 (recoil ions):反冲离子是指在原子、分子碰撞过程或核反应中,因动量守恒而获得反冲动量的带电原子或离子。当入射粒子(这里是宇宙辐射中子)与靶物质(这里是SiC)相互作用时,靶原子失去电子或发生核转变,剩余部分因受到“反冲”力而运动,形成反冲离子(高能、带正电的Si+或C+),反冲离子会在晶体中运动继续沿途撞击其他原子而产生大量电子-空穴对,从而形成等离子体云。也就是说中子本身不带电,不能直接电离,但"借刀杀人"制造反冲离子去电离。

流注 (streamer):是高压气体放电/半导体击穿中的自持放电通道,像一条发光的"溪流"或"丝缕"在介质中快速延伸。(所谓“自持”,即不需要外部持续触发,自己就能维持和扩展)

局部电场屏蔽:如文中所述,反冲离子导致了电子-空穴等离子体云(带电粒子团),在这个等离子体团内部,由于里面的自由电荷在外电场作用下重新分布,产生了与外电场反向的内建电场,“抵消”了外电场,所以体现出电场被"屏蔽"的效果 (E=0),但等离子体团边缘的电荷无处可去,堆积在边缘使电场增强(电场更尖),成为击穿起点。

等离子体通道和随后的流注把器件"短路"了,释放的能量直接把器件烧毁,这就叫单粒子烧毁 (SEB)

单粒子:指的是一个宇宙射线粒子(如中子)。

单粒子烧毁 (Single Event Burnout):一个粒子事件就导致器件彻底失效。

在SiC和Si中,宇宙射线引发的失效率,随器件在事件发生瞬间的电场强度呈指数级增长。电场差不多的器件,失效率也差不多。过去几十年做了大量加速试验,发现一个规律,即把施加电压归一化到实际雪崩击穿电压后,不同器件的宇宙射线失效率基本重合,见图29。

归一化:不同器件电压等级不同(650V、1200V、1700V...),直接比失效率不公平。

解决办法:把实际工作电压除以各自的雪崩击穿电压,得到比例:

比例相同的器件,失效率差不多(不管绝对电压是多少)。

这些试验是用质子加速器和散裂中子源来做的,粒子通量密度极高,加速因子能达到108量级。图29显示,失效率和施加的反向/阻断电压之间是明显的指数关系。

不过单个器件本身失效率极低,试验样本量又有限,所以数据点较分散,波动范围有1~2个数量级。抛开这个分散性,还是能从中提炼出一个平均的指数电压加速模型。在进行人工离子源的加速试验之外,还要在高海拔地区做自然大气中子通量的存储试验,用来验证这个加速模型是否靠谱。

利用宇宙射线失效率对雪崩击穿电压的依赖关系,可以优化功率器件的抗辐射能力。一般来说,垂直功率器件把漂移区或基区做厚一点、掺杂做低一点,就能提高雪崩击穿电压,从而增强抗宇宙辐射能力。但代价是正向导通损耗会变差,这就是图30说的抗辐射能力和导通损耗之间的权衡。

图31显示了功率模块逆变器应用中可能出现的不同运行工况,根据具体工况以及器件处于加压状态下的时间tuv,可以计算对应的不同FIT值。

要计算宇宙辐射导致的器件或模块的失效率,必须考虑到特定应用的条件,即施加的电压、海拔高度和运行时长。

图31展示了功率模块逆变器应用里的各种运行工况,不同工况、不同加压时间(tuv),算出来的FIT率也不一样:

示例:

  • no. of fails:指所有加压器件的预期失效总数。

  • tstress:指所有器件加压状态的总时长,tstress = Ndevices * tuv,其中tuv是单个器件的加压时间,这取决于具体工况。

  • 比如纯电动车的驱动逆变器:只算驾驶工况时,tuv = 8000h(驾驶);驾驶+充电都算时,tuv = 8000h(驾驶)+ 33000h(充电)。上述两种情况计算的失效率结果自然不同。

推测这里是把整车所有高压器件的加压时间都算上,不管哪个模块。英飞凌这里的例子中的33000h充电时间,更可能是指OBC模块或整车高压系统的总带电时间,而非主驱逆变器本身。

要计算宇宙射线FIT 率,必须考虑不同的运行工况。这些工况取决于具体的应用类型(例如:电驱系统、车载充电器等),以及基于施压时间tuv的具体应用条件。

所以,没法给某个技术或应用给出一个固定的宇宙辐射失效率数字。英飞凌的做法是:靠全球的应用工程师网络帮助客户进行计算(基于英飞凌的测试数据、客户端的应用条件以及具体应用细节,去算出总失效率)。

英飞凌也在持续做宇宙辐射试验,验证模型、确保新技术新产品的辐射鲁棒性,并在应用需求和器件设计之间找到合适的平衡点。结果表明,Si IGBT和SiC功率器件在宇宙射线基本失效机理、以及对工作条件的依赖关系上,只有细微差别。

本公众号内容基于英飞凌2025年10月发布的《英飞凌如何控制和保证基于SiC的功率半导体器件的可靠性白皮书》进行整理、分析与解读,版权归原作者所有,本文仅作学术交流与技术讨论,不构成对原文的实质性替代,详细内容请阅读原文,如有不当引用请联系删除。

 
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