
在先进制程、先进封装和国产替代多重驱动下,CMP 正从“关键设备”升级为“高耗材、高服务黏性的平台型工艺节点”,而华海清科凭借先发的 CMP 设备优势,正在向“装备 + 耗材 + 服务”的长期平台化模式跃迁,其成长逻辑已不再局限于单一设备放量。


一、为什么 CMP 是“越往先进制程,价值越高”的设备
报告首先用大量篇幅反复强调一点:CMP 并不是成熟制程的“存量设备”,而是随制程演进持续“加步骤、加价值”的关键工艺。
在 28nm 节点,CMP 工艺步骤约 12 次
到 10nm,提升至 30 次左右
7nm 及以下,又新增氮化硅 CMP、金属栅 CMP、FinFET、TSV 等多种复杂工艺
这意味着:
先进制程不是削弱 CMP,而是在持续抬高其设备复杂度、耗材消耗量和客户黏性。
CMP 的技术迭代,并非整机大换代,而是体现在:
抛光头分区控制
工艺稳定性
终点检测
清洗与损伤控制
这些都决定了 CMP 是“慢变量 + 高壁垒”的典型设备赛道。


二、CMP 国产替代:这是“少数已经跑通第一阶段”的设备
从产业格局看,报告给出的判断非常清晰:
全球 CMP 设备长期由 应用材料(AMAT)+ 日本荏原 主导
在 28nm 以下先进制程,海外厂商几乎垄断
但在中国大陆市场,CMP 是国产替代进展最实质性的前道核心设备之一
华海清科已经实现:
12 英寸 CMP 设备在 28nm 及以上制程的规模化应用
在逻辑、DRAM、3D NAND 多条产线完成工艺覆盖
先进制程(14nm 及以下)进入验证和导入阶段
这也是报告给出“维持买入”的基础前提:
CMP 国产替代已经从“能不能用”,进入“能不能在先进制程持续用”的阶段。


三、报告最看重的,不是设备,而是“耗材 + 服务的复利属性”
这是整篇报告最重要、但容易被忽略的一层逻辑。
CMP 与其他设备最大的不同在于:
运行成本中,耗材占比极高
抛光液、抛光垫、抛光头、修整器、清洗刷等都是高频消耗品
在晶圆厂侧,CMP 的耗材成本仅次于光刻
随着设备保有量提升:
耗材销售
维保服务
工艺升级
晶圆再生
都会形成长期、持续、与周期弱相关的收入来源。
报告多次对标海外厂商,指出:
成熟 CMP 厂商的服务类收入,占比可达 30% 左右,这是长期盈利能力的核心来源。


四、华海清科真正的战略方向:平台化,而非单点突破
基于上述逻辑,报告给出的隐含判断是:
华海清科的成长路径,已经不再是:
“CMP 卖得多不多”
而是转向:
围绕 CMP,构建一个覆盖前道 + 先进封装的装备与服务平台
具体体现为:
向 离子注入设备 延展
向 晶圆减薄设备 延展
深度布局 晶圆再生
同步推进 关键耗材与维保服务
这种模式的核心意义在于:
提高客户绑定深度
拉长收入生命周期
降低单一设备周期波动的影响


五、结语
这份报告真正想传达的,并不是“华海清科还能卖多少台 CMP”,而是:在先进制程复杂度持续上升的背景下,CMP 正从一台设备,演变为一个长期工艺节点,而围绕这一节点形成的“装备 + 耗材 + 服务”平台,才是国产半导体设备厂商真正的天花板所在。


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