半导体行业分析手册之二:混合键合设备,AI算力时代的芯片互连革命与BESI的领航之路-东兴证券
混合键合作为后摩尔时代的核心封装技术,通过铜 - 铜直接键合取代传统凸块,实现 10μm 以下超精细间距互连,在互连密度、带宽等方面实现数量级提升,成为 3D 堆叠与异构集成的关键支撑。其工艺分为晶圆对晶圆(W2W,适用于小芯片批量生产)和芯片对晶圆(D2W,支持异构集成)两类,已在 3D NAND、CIS 领域成熟应用,正加速向 HBM、AI 芯片等高性能计算场景拓展。————
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