编辑 | 丁莳文
审核 | 林子吟
本文取材自:上海市生态环境局
原文标题:图解《半导体行业污染物排放标准》
近日,上海市生态环境局、上海市市场监督管理局发布了《半导体行业污染物排放标准》(DB31/374-2024)。《半导体行业污染物排放标准》(DB31/374-2006)发布实施时间超过十年,国家和上海在生态环境管理的要求和手段上发生了较大变化,环境监管能力提升迅速。半导体生产工艺持续向前发展,工艺和原材料使用等方面均出现了新的变化。同时,半导体生产工艺一直在向前发展,其工艺和原材料使用等方面都出现了新的变化。修订后的标准在大气方面设置13个有组织大气污染物控制项目,新增氯气、氰化氢、锡及其化合物、苯、苯系物、非甲烷总烃、颗粒物和氮氧化物等8项。设置了氰化氢、氯气、氯化氢、非甲烷总烃等4项指标的无组织控制限值。


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