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中国电子气体产业发展报告:特种气体技术壁垒高,国产替代仍需时间

   日期:2026-02-03 18:44:00     来源:网络整理    作者:本站编辑    评论:0    
中国电子气体产业发展报告:特种气体技术壁垒高,国产替代仍需时间

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电子特气国产化具备长期战略价值技术、工艺与认证周期决定推进节奏

这两年,只要聊到电子特种气体,最常听到的一句话是——国产替代正在加速但在真正把这份 深企投《2025 中国电子气体产业发展报告》从头到尾看完之后,小编的感受反而更复杂了一点。

是的,国产电子特气确实在进步,NF₃、WF₆、硅烷、超纯氨等多个品类已经跑通了量产,也开始进入头部晶圆厂和面板厂的供应体系;但与此同时,另一个信号也正在变得越来越清晰——这个行业,已经开始提前进入“比国产化本身更难”的阶段

电子特气依然是半导体制造绕不开的“卡脖子”材料,先进制程、高端工艺对海外的依赖并没有本质改变。但在中低端品类集中扩产之后,行业正在从“供给不够”切换到“结构性过剩”,竞争焦点也悄然发生了变化:不再是谁能做出来,而是谁能真正进先进制程、能不能长期、稳定地留在客户产线上。

也正是从这个角度再回头看三氟化氮(NF₃),你会发现,它并不只是一个清洗气体,而是提前把整个电子特气产业的终局,摆在了台面上。

一、这份材料真正想说明什么?

电子特种气体是中国半导体产业的“关键卡点”,国产替代空间依然巨大,但在中低端品类集中扩产后,行业已开始从“供给短缺”走向“结构性过剩”,未来竞争焦点将从“能不能做”转向“能不能进先进制程、能不能长期稳定供货”。

二、战略定位:电子特气为什么是“卡脖子”材料

电子特气在半导体制造中,并不是“辅料”,而是高度嵌入制程本身的关键材料

  • 在晶圆制造材料成本中,电子特气是第二大成本项,占比约 13%–15%

  • 深度参与刻蚀、沉积、清洗、掺杂、光刻等核心工艺步骤

  • 任何纯度、杂质、稳定性问题,都会直接影响良率,甚至导致整线报废

从结果上看,中国电子特气的整体国产化率仍不足 25%从结构上看,在 7nm 及以下先进制程,关键气体几乎仍被海外巨头垄断。

这背后的本质,并不是“化工做不好”,而是三重能力叠加:

工艺强耦合 + 极限纯度控制 + 长周期客户认证

三、产业进展:国产替代在加速,但仍是“点状突破”

过去几年,国内电子特气企业的进展是真实且显著的

  • 在 NF₃、WF₆、SiH₄、NH₃、部分含氟刻蚀气体 等领域,已实现量产

  • 部分产品进入 台积电、三星、英特尔、中芯国际 等产线

  • 国产企业已从“实验室可行”,迈入“工程化可用”阶段

但如果从制程完整性与稳定供货能力来看,现阶段仍呈现出一个典型特征:

能做的品类越来越多,但能长期、大规模、稳定服务先进制程的企业仍然极少。

这决定了国产替代并非一条线性道路,而是高度分化的结构性进程。

四、结构性矛盾:国产提升 ≠ 行业高景气

在政策支持、资本涌入的共同推动下,国产电子特气的扩产节奏明显前置

结果是:

  • 中低端电子特气品类集中扩产

  • 多个品类开始出现供需错配

尤其在:

  • NF₃

  • 部分含氟刻蚀气体

  • 硅烷

  • 超纯氨

这些品类中,已经明显出现:

  • 产能释放快于需求增长

  • 价格中枢下移

  • 产能利用率下降

行业正在从“国产替代红利期”,进入一个更考验成本、客户结构与技术壁垒的供需再平衡阶段。

五、终局判断:真正的胜负,不在产能

报告隐含的核心判断其实非常清晰:

电子特气的终局,不是“谁建得多”,而是“谁留下来”。

未来竞争,将高度集中在三种能力上:

1️⃣ ppt 级痕量杂质控制与长期稳定性能力2️⃣ 与晶圆厂工艺深度绑定、通过长期认证的协同能力3️⃣ 从气体本体,延伸到容器、供气系统、运维服务的综合能力

? 行业会集中,而不是普涨? 只有进入先进制程供应链的企业,才具备长期价值

六、为什么 NF₃ 是电子特气里“最典型的一类”

1️⃣ 它同时具备“三重代表性”

NF₃ 是当前电子特气中:

  • 市场规模最大

  • 国产化推进最快

  • 同时也是最早显现产能过剩压力的品种

因此,它几乎是整个电子特气产业的“先行样本”

2️⃣ 工艺角色:先进制程的“刚需清洗气体”

NF₃ 主要用于 PECVD、ALD 等设备的腔体清洗,其优势在于:

  • 清洗效率高

  • 单位用量低

  • 残留颗粒更少

在 先进逻辑、存储器、显示面板 制程中,已逐步取代部分传统含氟气体,成为主流清洗方案。

3️⃣ 市场地位:电子特气中的“第一大单品”

  • NF₃ 是全球电子特气中市场规模最大的单一品种

  • 2021 年全球市场规模约 88 亿美元

  • 占电子特气整体市场约 20%

其需求高度绑定半导体与面板产线的开工率与资本开支周期,周期属性极强。

4️⃣ 国产化进展:最先成功,也最先内卷

国内企业已实现:

  • NF₃ 规模化量产

  • 多家企业进入 中芯国际、长江存储、台积电 等供应体系

NF₃ 也是少数国产厂商在全球市场已具备一定竞争力的电子特气品种

? 但问题,也正是从这里开始。

5️⃣ 风险信号:NF₃ 正率先暴露“电子特气的终局逻辑”

在国产替代与资本推动下,NF₃ 新增产能集中释放:

  • 供给增速开始明显快于需求

  • 价格中枢下移

  • 企业之间开始以价格换市场

NF₃,正在成为电子特气行业中,最早进入“内卷阶段”的品类。

七、小编总结

看完这份报告,小编最大的感受是:电子特气这条路,已经不再只是“有没有国产替代空间”的问题了。

在部分品类率先实现国产化之后,行业正在提前进入新的竞争阶段——从拼产能、拼扩产速度,转向拼能不能进入先进制程、能不能通过长期认证、能不能稳定留在客户供应链里。三氟化氮(NF₃)只是最先暴露问题的那一个,但背后的逻辑,适用于整个电子特气行业。

国产替代仍然重要,但真正决定长期价值的,已经不是“能不能做”,而是能不能留下来

END:原始报告我放在知识星球了,我们在星球中每日会更新半导体行业信息,技术拆解报告,市场分析报告,欢迎大家的加入~


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