这款设备主打半导体晶圆精密观测，适配 4-8 英寸晶圆，是芯片缺陷检测的实用工具。
二次电子成像分辨率达 3nm（0.8kV 加速电压下），部分工况可至 1.5nm，能清晰捕捉 0.1μm 级微小划痕。放大倍数覆盖 50x-300kx，从晶圆宏观形貌到纳米级结构都能观测。
加速电压可调范围 0.5-1.6kV，CD 测量重复性 ±1% 或 3nm。样品台 X/Y 轴移动范围 0-200mm，每小时可处理 45-56 片晶圆，还支持自动送样与真空吸附，二手现货性能稳定。
#半导体设备 #二手设备 #扫描电镜 #二手扫描电镜 #SEM #显微镜下的世界 #显微镜 #实验室仪器 #自动化 #仪器仪表
二次电子成像分辨率达 3nm（0.8kV 加速电压下），部分工况可至 1.5nm，能清晰捕捉 0.1μm 级微小划痕。放大倍数覆盖 50x-300kx，从晶圆宏观形貌到纳米级结构都能观测。
加速电压可调范围 0.5-1.6kV，CD 测量重复性 ±1% 或 3nm。样品台 X/Y 轴移动范围 0-200mm，每小时可处理 45-56 片晶圆，还支持自动送样与真空吸附，二手现货性能稳定。
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