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工投数科旗下创投基金投资企业无锡华瑛入选2023年江苏省首台(套)重大装备认定名单

日期：2023-09-07 18:05:12 来源：网络整理作者：本站编辑浏览：19 评论：0

近日，2023年江苏省首台（套）重大装备拟认定名单进行公示，无锡华瑛微电子技术有限公司的Ultra DTL-ms300动态薄层晶圆表面污染提取测量设备成功入围！

江苏省首台（套）重大装备是指具备自主知识产权的高端装备，经过创新，其品种、规格或技术参数等有重大突破，需要满足产品自主可控程度高、掌握装备生产的核心技术和关键工艺、在设计与制造技术等方面具有标志性突破或根本性改进、关键零部件安全可控、整机性能和核心技术指标达到国内领先或国际同类装备先进水平等基本条件。

图片来源：无锡华瑛微电子官网

Ultra DTL-ms300动态薄层晶圆表面污染提取测量设备主要用于晶圆衬底、半导体集成电路先进制造领域。该设备使用华瑛微全球首创的动态薄层技术（DTL），不仅能够实现常规表面金属、体金属提取检测，还能实现多步提取、贵金属检测及碳化硅晶圆检测，检出限低于1E8 atoms/cm²。相较于传统的VPD提取检测方法，该设备还具有高通量、不受亲疏水材料限制、腐蚀提取一腔完成、低交叉污染风险、扫描液配方可自主选择等特点。

目前该产品已成功导入国内FAB龙头企业，并获得多项重复性订单，实现了我国在高端半导体制造行业全自动晶圆表面污染提取测量设备的国产替代。

无锡华瑛成立于2008年，公司研发具有绿色环保、高原创性和高竞争力的半导体湿法处理工艺及设备，含科研、制造、经营为一体。2019年，获得国家高新技术企业认定，在国家十一五和十二五02重大专项的支持下，成功研发出世界首创且具有完全自主知识产权的动态薄层（DTL）晶圆表面化学处理技术和设备，DTL技术可有效应用于半导体晶圆表面腐蚀、清洗、钝化、刻蚀等多项工艺，以及晶圆表面杂质、超微量污染提取和检测，帮助半导体制造企业大幅度提升生产效率，降低化学品的消耗量和排放，降低企业生产成本，保护环境健康安全，实现经济效益和社会效益的双赢。

无锡华瑛已成为一家快速成长的半导体设备制造公司。在技术创新、产品优化和市场推广方面取得了优秀成绩，目前已申请国内外专利147项，其中国内授权专利54项，国际发明专利26项，台湾发明专利8项，依靠DTL技术原理研发的设备得到了众多客户和半导体厂商的支持和采用，成为国产半导体设备制造领域的一颗新星。

无锡工信：江苏省2023年首台（套）重大装备公示名单揭晓，无锡10家企业荣登榜单，全省第一！

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