推广 热搜： 采购方式滤芯甲带气动隔膜泵减速机减速机型号带式称重给煤机履带无级变速机链式给煤机

纳设智能成功研发8英寸碳化硅外延设备

日期：2023-08-29 21:57:16 来源：网络整理作者：本站编辑评论：0

近日，据纳设智能官微消息，纳设智能成功研制出更大尺寸具有更多创新技术的8英寸碳化硅外延设备。据悉，该设备具备独特反应腔室设计、可独立控制的多区进气方式、以及智能的控制系统，将更好的提高外延片的均匀性，降低外延缺陷及生产中的耗材成本。

纳设智能开发的8英寸碳化硅外延设备顺应了产业向更大尺寸的发展趋势，在技术上具有前瞻性，同时能够向下兼容6英寸外延，符合当前市场对于6英寸和8英寸兼容的需求。

具体来看，纳设智能持续围绕提升工艺指标、降低耗材成本和维护频次方面进行产品的迭代优化，不断在反应室系统，气体输运系统和整体软件系统等方面进行技术创新。

目前，纳设智能已实现8英寸碳化硅外延设备的交付，该设备在客户现场生产的外延片厚度不均匀性≤2%，浓度不均匀性~4%，表面粗糙度≤0.3cm-2，缺陷控制良好。

订单方面，据纳设智能首席营销官李小天在行业会议上透露，纳设智能6英寸碳化硅外延设备在国内市场中占据重要地位，截止目前，累计获得10+个客户超过150台设备订单，订单金额累计数亿元。

纳设智能创立于2018年，致力于第三代半导体、碳纳米材料等先进材料制造设备的研发及产业化，技术处于国内领先水平。核心团队由世界著名半导体设备公司的科学家、剑桥大学博士和材料设备领域资深专家组成。公司自有第三代半导体碳化硅外延设备研发技术荣登“科创中国”先导技术榜单。公司认证有ISO9001质量管理体系及售后服务体系，于2020年被评定为具有高成长性的“国家高新技术企业”，2022年荣获深圳市“专精特新”中小企业认定。

纳设智能以市场需求为导向研发新装备，解决一批核心问题，形成一批自有技术，相关技术指标的突破，标志着纳设智能已成功掌握8英寸SiC外延设备相关技术，可为行业提供更为先进的技术支持，进一步提高我国碳化硅产业自主创新能力，促进第三代半导体产业的发展。

来源：纳设智能

打赏

更多>同类资讯

0 条相关评论

推荐图文

推荐资讯

点击排行