
一、光刻胶概述
光刻胶(Photoresist,简称 PR),又称"光致抗蚀剂",是半导体、平板显示和 PCB 制造过程中用于图形转移的关键功能性化学品。它通过紫外光、电子束、离子束、X 射线等照射或辐射,使自身溶解度发生变化,从而在显影液中形成与掩模版对应的精细图形,被誉为芯片制造中的"显影之墨"、现代微纳加工的"画笔"。
▌1.1 定义与作用原理
光刻胶是一种由感光树脂(成膜剂)、光敏剂(PAG / 光引发剂)、溶剂和功能性添加剂组成的混合液体。其在芯片制造中的作用可概括为以下三个环节:
表 1-1光刻胶在光刻工艺中的核心作用
环节 | 作用 | 机理说明 |
曝光前 | 图案媒介 | 在硅片表面均匀涂覆(典型厚度 50~500 nm),作为"光-化学信号转换器"。 |
曝光中 | 光化学反应 | 感光组分吸收特定波长光子,产生酸(H⁺)或自由基,触发树脂交联/降解反应。 |
显影后 | 图案成型 | 曝光区/未曝光区在显影液中的溶解度差异被放大,最终在硅片上留下纳米级电路图形。 |
关键指标: 光刻胶图形精度直接决定芯片的最小线宽,是 7nm/5nm/3nm 先进制程能否落地的"卡脖子"材料之一。
▌1.2 分类体系与产品谱系
光刻胶可按"曝光波长"、"成像机理"和"下游应用"三种维度进行分类。不同分类方式对应不同的产品体系与市场格局。
表 1-2光刻胶分类体系(按曝光波长 & 下游应用)
类型 | 曝光波长 | 对应制程节点 | 技术壁垒 | 市场地位 |
g 线 | 436 nm | 0.5 μm 以上 | ★★☆☆☆ | 成熟期,国产化率高 |
i 线 | 365 nm | 0.35~0.5 μm | ★★★☆☆ | 成熟期,国产化率 ~60% |
KrF(248nm) | 248 nm | 0.13~0.25 μm | ★★★★☆ | 成长后期,国产化率 ~10% |
ArF干法 (193nm) | 193 nm | 45~65 nm | ★★★★★ | 攻坚期,国产化率 <5% |
ArF 浸没式 | 193 nm(水) | 7~28 nm | ★★★★★+ | 攻坚期,国产化率 <1% |
EUV(13.5nm) | 13.5 nm | ≤7 nm | ★★★★★++ | 空白期,100% 进口 |
PCB 光刻胶 | — | PCB 线路 | ★☆☆☆☆ | 成熟期,国产化率 ~94% |
LCD 光刻胶 | — | 面板彩色滤光片 | ★★☆☆☆ | 成长中,国产化率 ~30% |
▌1.3 核心性能指标
衡量光刻胶性能的核心指标有四项,业内通常称为"金三角"加一项工艺指标:
指标 | 符号 | 含义与典型要求 |
分辨率 | Resolution | 光刻胶能形成的最小线宽,直接决定芯片制程节点。先进制程要求 <10 nm。 |
灵敏度 | Sensitivity | 达到曝光阈值所需的最低能量(mJ/cm²)。越低越省时,但与分辨率往往相互制约。 |
对比度 | Contrast | 光刻胶对曝光剂量变化的响应陡度,决定图形侧壁的垂直性与边缘粗糙度(LWR)。 |
蚀刻选择比 | Etch Selectivity | 光刻胶在等离子蚀刻中相对被保护材料的损耗比,决定图形能否完整转移到下层。 |
小结: 光刻胶是"小而美"的关键材料——在整条芯片制造材料链中价值占比约 5%,但一旦缺失,整条产线即陷入停摆。

二、国内外现状
光刻胶行业呈现"日本寡头垄断全球高端市场、中国厂商加速突围"的格局。从市场规模、技术分布到国产化率,各层级均存在显著差异。
▌2.1 全球市场规模与增长趋势
根据 TECHCET、Trendforce 等机构数据,2023~2024 年全球光刻胶市场略有修复,预计 2024 年规模回升至 25~50 亿美元区间(口径不同)。半导体光刻胶是增长最快的子品类,2024 年全球半导体光刻胶市场约 28 亿美元,预计 2027 年突破 35 亿美元。
$25.7亿 2024 年全球光刻胶市场规模(TECHCET) | +7% 2024 年同比增速 | $28亿+ 2027 年半导体光刻胶规模预期 | 22% 近五年全球 CAGR |
数据来源:TECHCET、Trendforce、中研普华。
▌2.2 全球竞争格局:日美寡头垄断
全球高端半导体光刻胶市场被日本"四巨头"(JSR、东京应化 TOK、信越化学、富士胶片)牢牢把持,合计市占率超过 90%,其中 67% 的进口量来自日本。美国杜邦、陶氏等公司仅在部分细分品类中占有一席之地。
表 2-1全球光刻胶主要厂商竞争格局
企业 | 国别 | 核心优势品类 | 全球地位 | 对华出口 |
JSR | 日本 | ArF / EUV | 高端光刻胶龙头 | 受限 |
东京应化 TOK | 日本 | KrF / ArF / EUV | 全球品类最全 | 受限 |
信越化学 | 日本 | KrF / ArF | 产能与品质并重 | 受限 |
富士胶片 | 日本 | ArF 浸没式 | 浸没式领先 | 受限 |
杜邦 / 陶氏 | 美国 | i 线 / KrF | 细分领域 | 正常 |
南大光电 | 中国 | ArF(28nm 量产) | 国产 ArF 突破者 | — |
徐州博康 | 中国 | KrF / ArF 树脂 | 国产 KrF 主力 | — |
▌2.3 中国市场规模与供需缺口
中国是全球最大的光刻胶消费市场,约占全球需求的 35%~40%。2020~2024 年中国光刻胶市场规模从 98 亿元增长至 215 亿元,CAGR 达 21.7%,其中半导体光刻胶占比从 32% 提升至 45%。
¥215亿 2024 年中国光刻胶市场规模 | ¥280亿+ 2025 年预期规模 | 45% 半导体光刻胶占比(2024) |
结构性供需缺口:
•低端 PCB / 面板光刻胶:基本自给,但内部价格战激烈。
•中端 i 线 / KrF 光刻胶:部分国产化,但 12 英寸晶圆用高端 KrF 仍依赖进口。
•高端 ArF / EUV 光刻胶:几乎 100% 进口,是供应链最脆弱环节。
▌2.4 国产化率与技术差距
中国电子材料行业协会与各券商研究所数据显示,2024~2025 年各类光刻胶国产化率呈现"金字塔"分布:
表 2-2各类光刻胶国产化率(2024~2025)
品类 | 国产化率 | 国产代表企业 | 技术差距 |
PCB 光刻胶 | ~94% | 容大感光、广信材料 | 与国际水平相当 |
LCD 面板光刻胶 | ~30% | 飞凯材料、雅克科技 | 彩色光刻胶仍进口 |
g/i 线光刻胶 | ~60% | 晶瑞电材、北京科华 | 部分高端规格仍需突破 |
KrF 光刻胶 | ~10% | 彤程新材、徐州博康 | 稳定性与一致性待提升 |
ArF 干法光刻胶 | <5% | 南大光电、彤程新材 | 仅 28nm 节点少量量产 |
ArF 浸没式光刻胶 | <1% | 南大光电(研发中) | 尚未规模量产 |
EUV 光刻胶 | 0% | — | 尚处于实验室阶段 |
⚠ 核心差距集中在三个维度:①树脂分子量分布与纯度(影响分辨率);②光酸产生剂(PAG)的灵敏度与寿命;③配方工程化能力(批次稳定性、缺陷控制)。这三项需要长期工艺积累,无法通过简单设备投资弥补。 |
▌2.5 政策环境与产业支持
光刻胶被列入国家"十四五"重点突破的"卡脖子"材料清单,享有从中央到地方的多层政策与资金支持。
表 2-3政策与资金支持梳理
政策/资金 | 时间 | 主要内容 |
"十四五"重点材料专项 | 2021~2025 | 将光刻胶列入"卡脖子"清单,设立专项研发资金。 |
大基金二期注资 | 2023 | 向光刻胶领域注资超 50 亿元,地方政府配套约 120 亿元。 |
合肥/上海/苏州产业集群 | 2023~2024 | 形成"基础研究—中试—量产"全链条支持,打造百亿级产业集群。 |
税收与人才政策 | 持续 | 光刻胶企业享受集成电路企业税收优惠;多省推出高端人才引进计划。 |
小结: 全球光刻胶市场"日美寡头、高端紧缺"格局短期难改,但中国市场已迎来"政策+资金+下游扩产"三重共振,国产替代正进入加速窗口。

三、光刻胶产业链全景拆解
光刻胶产业链具有"长链条、强协同、高壁垒"的特点。理解产业链是把握投资机会的基础。

▌3.1 上游:核心原材料
光刻胶的四大核心原材料为树脂、PAG(光酸产生剂)、溶剂、添加剂。其中树脂占成本约 40%~50%,PAG 占 20%~30%,溶剂约 20%,其余为添加剂。
表 3-1光刻胶核心原材料体系
原材料 | 作用 | 技术要求 | 国际主要供应商 | 国产化率 |
感光树脂 | 成膜主体 | 分子量分布窄、纯度 >99.9% | JSR、Maruzen | ~5% |
PAG | 光酸产生剂 | 高灵敏度、低扩散 | JSR、ADEKA | ~3% |
溶剂 | 溶解载体 | 高纯度、低金属残留 | 三菱化学、陶氏 | ~70% |
添加剂 | 性能调节 | 提升附着力/抗蚀性 | 住友化学、巴斯夫 | ~50% |
涂布配套化学品 | 旋涂辅助 | 与光刻胶匹配 | 东京应化、嘉实多 | ~40% |
▌3.2 中游:配方工艺与光刻流程
中游是光刻胶企业的核心环节——将原材料按特定比例混合,并通过六步标准光刻工艺完成图形转移。配方工艺需要长期 know-how 积累,是光刻胶最核心的壁垒。
表 3-2光刻工艺六步流程
步骤 | 名称 | 核心内容 |
① | 旋涂(Coat) | 将光刻胶滴在硅片上,高速旋转形成均匀薄膜(50~500 nm)。 |
② | 前烘(Soft Bake) | 在 90~120 ℃下挥发溶剂,固化胶膜,提升附着力。 |
③ | 曝光(Exposure) | 在光刻机中用特定波长光透过掩模版照射,引发光化学反应。 |
④ | 后烘(PEB) | 曝光后加热促进光酸扩散,化学放大反应完成。 |
⑤ | 显影(Develop) | 用显影液(正胶用 TMAH)溶解曝光/未曝光区,形成图形。 |
⑥ | 刻蚀/去胶 | 通过等离子体蚀刻将图形转移到下层材料,最后去除残余光刻胶。 |
▌3.3 下游:应用领域与产品分类
光刻胶下游应用分为半导体、面板、PCB 三大领域,其中半导体占比最高、增长最快、技术壁垒最高。
表 3-3光刻胶下游应用分类与市场结构
应用领域 | 代表产品 | 典型工艺节点 | 国产化率 | 增速 |
半导体-逻辑 | ArF / KrF / i-line | 7~65 nm | <10% | ★★★★★ |
半导体-存储 | ArF 浸没式 | 1α/1β nm DRAM、3D NAND | <5% | ★★★★★ |
半导体-成熟 | i-line / KrF | 0.13~0.5 μm | ~30% | ★★★★☆ |
先进封装 | 厚膜负性胶 | RDL/Bumping | ~25% | ★★★★☆ |
LCD/OLED 面板 | 彩色光刻胶、黑色光刻胶 | G4.5~G10.5 | ~30% | ★★★☆☆ |
PCB | 干膜/湿膜光刻胶 | 线宽 25/15/8 μm | ~94% | ★★☆☆☆ |
MEMS/LED | 厚膜胶、负性胶 | MEMS 结构 | ~50% | ★★☆☆☆ |

四、光刻胶国产替代机会
结合产品成熟度、技术壁垒与下游验证进度,光刻胶国产替代呈现"成熟放量(短期)→ 加速渗透(中期)→ 高壁垒攻坚(长期)"的三级梯次路径。
▌4.1 国产替代三级梯次
梯次 | 时间窗 | 代表产品 | 国产化进展 | 投资逻辑 |
① 成熟放量 | 1~2 年 | PCB / 面板 / i-line | 国产化率 >60% | 产能扩张 + 客户绑定 |
② 加速渗透 | 3~5 年 | KrF / 12 寸 i-line | 国产化率 10%~30% | 下游晶圆厂验证 |
③ 高壁垒攻坚 | 5~10 年 | ArF / ArF 浸没 / EUV | 国产化率 <5% | 国家专项 + 长期投入 |
▌4.2 国产化逻辑与壁垒分析
产品类别 | 国产化逻辑 | 核心壁垒 | 催化因素 |
PCB / 面板 | 技术成熟、价格优势、本土化服务 | 低端价格战 | 国产化率 30%~94% |
i-line / KrF | 国内晶圆厂扩产、本土供应链安全 | 批次稳定性、客户验证周期长 | 12 寸晶圆产能扩张 |
ArF / ArF 浸没 | 国家专项、进口替代紧迫性 | PAG/树脂自主化、缺陷控制 | 大基金注资、晶圆厂协同 |
EUV | 远期布局 | 全产业链空白 | — |
▌4.3 风险提示与机会结论
? PCB/面板光刻胶短期充分兑现、KrF 加速导入、ArF 长期攻坚。 |
风险提示:
① 客户验证周期长(12~24 个月),业绩兑现存在不确定性;
② 下游晶圆厂扩产节奏低于预期可能压制需求;
③ 国际厂商可能通过价格战反制;
④ 上游核心原材料(树脂/PAG)国产化进展可能滞后于配方。

五、相关上市公司汇总对比
本部分汇总了 A 股光刻胶相关上市公司,按技术梯队分组,便于横向对比。

▎① 高壁垒攻坚梯队(ArF / EUV 研发与突破)
公司 | 股票代码 | 核心产品与技术进展 | 核心竞争力 |
南大光电 | 300346.SZ | ArF 光刻胶已实现 28nm 节点量产,ArF 浸没式研发中。 | 国内 ArF 突破者,唯一进入先进制程量产的国产企业。 |
彤程新材 | 603650.SH | KrF 龙头(北京科华),ArF 干法/浸没式同步推进。 | 子公司北京科华为国产 KrF 市占第一。 |
上海新阳 | 300236.SZ | ArF 干法与浸没式均在研发,配套电镀液。 | 封装光刻胶与电镀液双轮驱动。 |
晶瑞电材 | 300655.SZ | i-line / KrF 量产,ArF 在研。 | 高纯试剂 + 光刻胶双业务,国产高端光刻胶代表。 |
徐州博康 | 未上市 | KrF / ArF 树脂自主化,子公司恒坤新材供货中芯国际。 | 树脂与 PAG 国产化先锋。 |
▎② 加速渗透梯队(KrF / 12 寸 i-line 量产导入)
公司 | 股票代码 | 核心产品与技术进展 | 核心竞争力 |
彤程新材 | 603650.SH | 北京科华 KrF 光刻胶批量供货中芯国际、华虹等。 | KrF 市占率国产第一,技术与渠道双壁垒。 |
晶瑞电材 | 300655.SZ | i-line 已稳定供货,KrF 进入客户验证。 | 湖北潜江基地扩产,规模优势明显。 |
上海新阳 | 300236.SZ | KrF 光刻胶在验证中,封装胶已批量供货。 | 与长电/通富等封测厂深度合作。 |
▎③ 成熟放量梯队(PCB / 面板 / i-line)
公司 | 股票代码 | 核心产品与技术进展 | 核心竞争力 |
容大感光 | 300576.SZ | PCB 光刻胶、面板光刻胶批量供货。 | PCB 国产化率最高,规模与品牌优势显著。 |
飞凯材料 | 300398.SZ | 面板光刻胶、封装光刻胶、液晶材料。 | 面板光刻胶国产化主力,绑定京东方/华星。 |
广信材料 | 300537.SZ | PCB 阻焊油墨、感光油墨、PCB 干膜。 | PCB 干膜国产化突破者。 |
雅克科技 | 002409.SZ | 面板彩色光刻胶、LCD 光刻胶。 | 收购韩国斯洋后跻身面板光刻胶第一梯队。 |
▎④ 上游原材料梯队(树脂 / PAG / 添加剂)
公司 | 股票代码 | 核心产品与技术进展 | 核心竞争力 |
强力新材 | 300429.SZ | 光引发剂、PAG 前体、增感剂。 | 国内光引发剂龙头,与多家光刻胶企业配套。 |
久日新材 | 688199.SH | PAG 前体、阳离子光引发剂。 | 光刻胶原材料卡位明确。 |
万润股份 | 002643.SZ | 光刻胶单体、液晶材料、沸石。 | 多元化电子材料平台。 |
▎⑤ 配套材料梯队(CMP / 湿化学品 / 封装)
公司 | 股票代码 | 核心产品与技术进展 | 核心竞争力 |
鼎龙股份 | 300054.SZ | CMP 抛光垫、光刻胶、显示材料。 | CMP 抛光垫国产龙头,光刻胶协同布局。 |
安集科技 | 688019.SH | CMP 抛光液、清洗液。 | CMP 抛光液国产突破者。 |
江化微 | 603078.SH | 湿电子化学品(与光刻胶配套)。 | 高纯试剂配套,绑定多家 12 寸晶圆厂。 |
提示: 上述内容仅为个人研究笔记,不构成投资建议;具体公司财务数据与最新进展请以各公司公告为准。


