上一篇文章介绍了library,文章链接:DC中的library。本篇文章将介绍这些library和工艺,以及corner的关系。
liberty,milkyway和tluplus是DC使用的主要工艺库,他们分别对应标准单元的电气特性,几何图形参数和金属线的寄生参数。芯片制造过程和房地产建筑过程类似,“地基”是有晶体管搭建的,“上层”通过金属线(Metal)和通孔(Via)实现互联,“地基”和“上层”之间通过接触层(Contact)的欧姆接触实现工艺互联。

其中,liberty和milkyway就属于“地基”的库(准确的说,标准单元包含了单元内部晶体管的互连,这部分属于BEOL的范畴);tluplus属于“上层”的库,也包含了接触层。
“地基”属于前道工序(FEOL,front end of line)的范畴,“上层”属于后道工序(BEOL,back end of line)的范畴,“接触层”属于中间工序(MOL,middle of line)的范畴。
前道工序包含晶体管的制作(有源区的扩散,深阱注入,栅的制造以及浅槽隔离等),后道工序包含金属线和通孔的金属化(铝的金属化,铜的大马士革工艺以及化学机械研磨等)。
工艺角(corner)包含PVT corner和RC corner。PVT corner对应liberty,RC corner对应tluplus。

其中,PVT corner包含process(工艺),voltage(电压)和temperature(结温)三个指标。process常常使用ff、ss、tt分类,两个f、s或t分别表示NMOS和PMOS的process是fast,slow还是typical;电压通常是典型电压的0.9倍或1.1倍;温度通常是-40到125℃范围内,根据工业级(C),车规级,军事级(M)和宇航级(R),温度范围可能略有不同。
RC corner是金属连接的阻(R)容(C)参数,通常包括rbest,rcbest,rworst,rcworst和typical。随着工艺的进步,和DPT(double pattern technology)的引入,RC corner变得更为丰富。
工艺角存在,是由于芯片制造过程中广泛存在的die-to-die,wafer-to-wafer的global variation。与此相对应的,我们熟知的OCV(On-Chip variation)描绘die内不同区域间电路的variation。


