【企业报告】盛剑环境(603324.SH):守护芯片制造的“绿肺”

在芯片和面板高精密的制造过程中，除了需要超净的空间，还会产生大量复杂、剧毒的工艺废气。这些废气若处理不当，将对环境和生产安全构成严重威胁。上海盛剑环境系统科技股份有限公司，正是国内泛半导体工艺废气治理领域的领军企业，专注于为产业提供“绿色生产”的保障，被誉为高科技工厂的“环保卫士”和“绿肺”。

一、整体概况/基本资料

上海盛剑环境系统科技股份有限公司是国内领先的泛半导体工艺废气治理系统解决方案提供商。公司深耕于集成电路、平板显示、新能源电池等高端制造业的废气治理领域，主营业务包括工艺废气治理系统及关键设备的研发、设计、制造、集成及运维服务。公司通过提供定制化的废气治理解决方案，有效解决客户生产过程中的环保与安全问题，是连接高端制造与绿色生产的关键环节。

二、公司团队及管理团队

公司核心团队具备深厚的环保技术背景和丰富的泛半导体行业项目经验，创始人及高管多为技术出身，对客户工艺和治理需求有深刻理解。

三、创始人介绍

• 创始人：张伟明先生

• 1980年生于荆门钟祥，2001年，21岁的张伟明应聘进入位于浙江绍兴的新光暖通器材公司做起了销售员，2005年，已经摸索到行业门道的张伟明前往上海创办盛剑科技。
  刚开始公司主要经营各类金属材质的通风排气管道产品，凭借出色的产品质量，短短三年时间，盛剑科技就成为了国内最大的螺旋通风管道制造商，张伟明也因此赚得盆满钵满。进入新世纪的第二个十年，国内的半导体产业开始发力，但与之相伴的污染问题也应运而生，在芯片的制造过程中需要用到大量化学品和特殊气体，从而会产生成分非常复杂的工业废气，而当时国内还没有相关的企业专门针对这一问题给出解决方案。2012年，发现到了这一行业问题的张伟明带领盛剑科技转型，进军半导体废气治理行业。

• 张伟明拥有上海交通大学EMBA背景，入选上海市青年企业家培养计划，被定位为“技术+管理”双驱动的核心人物，同时深度参与核心技术研发。 ‌

• 值得注意的是，公开资料中提及的另一位高管‌汪哲‌，现任公司总裁，也是公司创业发展历程中的关键人物。在2025年4月的官方走访调研活动中，汪哲作为总裁介绍了企业发展情况。 ‌2025年10月的权威报道也指出，企业创始人张伟明与汪哲在交大EMBA学习期间结缘，并共同推动了校企合作与技术探索。 ‌这表明汪哲是公司的联合创始人或早期核心创业成员，与张伟明共同领导公司发展。

四、主营业务

公司主营业务紧密围绕泛半导体生产的“工艺废气”与“工艺介质”展开：

1. 工艺废气治理系统：为集成电路、平板显示等客户提供废气收集、输送、处理（包括酸碱废气、有机废气、有毒废气、粉尘等）的整套系统解决方案及核心设备。

2. 废气治理设备销售：向客户单独销售焚烧炉（TO）、洗涤塔、除尘设备等核心单体设备。

3. 湿电子化学品系统：提供湿电子化学品的供应、回收、再生系统及服务，延伸价值链。

4. 运维服务：为客户已投运的废气治理系统和湿电子化学品系统提供托管运营、定期保养、耗材更换等服务。

五、核心技术

公司的核心技术在于针对复杂、高危废气的 “高效治理与系统安全”：

1. 废气治理工艺技术：掌握热力焚烧（TO）、催化焚烧（CO）、酸碱洗涤、吸附浓缩、除尘等多种废气处理工艺，并能根据客户复杂的废气成分（如SiH4、PH3、Cl2、VOCs等）进行组合工艺设计。

2. 系统设计与集成技术：针对半导体Fab厂庞大的管路网络，进行精确的流体力学模拟和系统设计，确保废气收集效率、系统压力平衡和运行安全（防爆、防泄漏）。

3. 核心设备制造技术：自主设计制造高性能焚烧炉、高效洗涤塔等核心设备，在能耗、处理效率、稳定性等关键指标上具备竞争力。

4. 智能控制与监测技术：运用在线监测、大数据分析等手段，实现系统的智能化运行、预警和远程运维。

六、产品与服务

七、市场竞争地位/技术优势

盛剑环境在国内泛半导体工艺废气治理领域确立了显著的领先优势，是该细分赛道的龙头企业。

八、商业模式

公司采用 “系统解决方案驱动，设备与运维双轮支撑” 的商业模式。

• 核心模式（系统集成）：以废气治理系统解决方案（EPC或EP）为主要业务模式，提供高附加值的整体服务，单项目合同金额大。

• 设备销售模式：向客户或工程总包方销售核心单体设备，灵活性高。

• “产品+服务”模式：在交付系统/设备后，通过长期运维服务合约，与客户建立持续性合作关系，获取稳定收入。

• 客户关系：与头部客户深度绑定，从单项目合作向战略合作与长期服务演进。

九、公司生态

公司生态深度融入泛半导体产业链：

• 上游：与钢材、风机、泵阀、仪表、催化剂等原材料及设备供应商合作。

• 下游/客户：深度服务京东方、华星光电、天马微电子等显示面板巨头，以及中芯国际、华虹集团、士兰微等集成电路制造企业。

• 协同与竞争：与洁净室工程商（如柏诚股份）、工艺介质供应商（如正帆科技）在客户现场既协同配合，又在部分业务边界存在交叉。

十、发展历程

十一、行业发展

• 趋势与前景：

1. 泛半导体产能持续扩张：国内集成电路与新型显示产业的持续投资，直接拉动了对工艺废气治理系统的基础需求。

2. 环保要求日趋严格：国家及地方对VOCs、酸性气体等污染物的排放标准不断提高，推动存量产线环保改造和新建产线采用更高标准的治理技术。

3. 治理技术升级与资源化：从单纯的“达标排放”向“高效节能、能量回收、资源化利用”方向发展，如余热回收、化学品再生等，提升技术附加值。

4. 运维服务市场增长：随着存量系统规模扩大，专业、智能的第三方运维服务需求日益凸显。

5. 应用领域拓宽：锂电、光伏、生物制药等精密制造业对工艺环境控制要求提升，带来新的市场空间。

• 挑战：

1. 下游产业资本开支周期性波动：半导体、显示面板行业的投资周期会直接影响公司的新签订单。

2. 技术迭代与研发风险：下游制造工艺不断演进，产生的废气种类和特性可能变化，需要持续进行研发投入以适应新需求。

3. 市场竞争加剧：随着市场重要性提升，可能吸引更多国内外竞争者进入，导致竞争加剧。

十二、企业类型归纳

十三、景气度周期分析

盛剑环境的景气度与 “下游泛半导体产业资本开支周期” 高度相关，并叠加 “环保政策升级周期”。

• 资本开支周期：作为泛半导体工厂的 “配套必备设施”，其新增订单量与下游晶圆厂、面板厂的新建和扩产投资直接挂钩。因此，公司景气度紧随半导体/显示面板的投资周期波动。当前国内半导体产业的自主建设周期为其提供了核心驱动力。

• 环保政策升级周期：这是一个相对独立且具有持续性的驱动因素。即便下游产业投资进入平缓期，日益严格的环保法规也会促使现有工厂对老旧废气处理设施进行 “提标改造”，为公司带来存量市场机会。

• 服务占比提升平滑周期：随着公司运维服务收入占比不断提升，这部分收入具备持续性和稳定性，能够在一定程度上平滑因资本开支波动带来的业绩周期性。

• 判断：公司短期内将直接受益于国内半导体产能建设。中长期看，其增长动力来源于：1）在半导体领域市场份额的持续提升；2）存量市场的改造与服务；3）向新能源等新领域的成功拓展。其周期属性较纯粹的设备商略有减弱。

一张表看懂半导体上市企业总结

知识科普：什么是“泛半导体工艺废气治理”？为什么它如此关键？

在芯片和面板工厂里，数百台设备同时运转，使用着各种高纯气体、化学品和能源。这个过程就像一场高度复杂的“化学实验”，会产生大量成分复杂、毒性高、易燃易爆的废气。

• 废气来源与危害：

• 酸性/碱性气体：如HCl、HF、NH3等，来自刻蚀、清洗工序，腐蚀性强，危害设备和人体健康。

• 有毒气体：如磷化氢（PH3）、砷化氢（AsH3），用于掺杂工艺，极低浓度即可致命。

• 挥发性有机物（VOCs）：来自光刻胶、清洗溶剂等，是形成PM2.5和臭氧的前体物。

• 硅烷等特气：易燃易爆，需要特殊处理。

• 颗粒物：来自化学气相沉积（CVD）等工艺。

• 治理的复杂性：不能简单“一烧了之”或“一排了之”。需要：

1. 分质分类收集：不同工艺排气点的废气特性不同，需通过独立的管道系统分类收集，防止危险反应。

2. 安全输送：设计防爆、防泄漏、防回火的安全管路系统，是工厂安全的生命线。

3. 高效处理：针对不同废气采用最合适的“组合拳”工艺。例如，焚烧炉（TO） 用于处理VOCs和有毒废气，通过高温（如800℃以上）将其彻底分解为CO₂和H₂O；洗涤塔 用化学药剂吸收酸碱废气；对于硅烷等，可能还需要先经过焚毁装置（Burn Box） 预处理。

4. 实时监测与智能控制：对系统关键参数进行24小时监控，确保处理效率和安全。

盛剑环境的核心价值，就在于为客户设计和建造这样一套能应对极端复杂工况、保障安全生产和达标排放的“废气处理中枢神经系统”。

参考资料：

1. 上海盛剑环境系统科技股份有限公司年度报告（2021-2023年）

2. 上海盛剑环境系统科技股份有限公司首次公开发行股票招股说明书

3. 上海盛剑环境系统科技股份有限公司官方网站

4. 东方财富网-盛剑环境（603324）公司资料及高管介绍页

5. 中国环保产业协会、SEMI（国际半导体产业协会）相关行业报告

6. 各证券公司关于盛剑环境及泛半导体供应链的研究分析报告