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深度研究联系申万电子/机械团队
国际形势:
1)2019 年到现在,美国政府已经出了十五招来限制中国集成电子的发展,每一招都是用设备来卡。
2)主要限制设备而不限制制作芯片的原因:数码产业是倒三角型,最上层是应用,其次要有一个电子系统的硬件支撑,大概有几万亿的产值;而它又被半导体芯片的设计和制造所支撑,大概 6000 亿的产值,很快就到1万亿的规模。半导体制造又受半导体设备支撑,大概是上千亿美金的支撑。半导体设备又在传统工业的基础上,就是零部件和材料。最核心的基石是半导体设备。
工 业 革 命 断 代 : 1) 工 业 就 是 制 造 东 西 , 只 有 在 制 造 东 西 的 方 式 上 有 根 本 的 变 革 , 才 能 成 为 工 业 革 命 。开 发 出 有 伟 大 的 变 革 性 的 重 要 产 品 并 不 能 成 为 工 业 革 命 。
2)工业革命只有两代,第一代从英国开始,已经五六百年的历史。它是一个机械化时代,它的本质就是用手工劳动来这个转化成机械化,用机械来代替人手。有宏观材料:钢铁、陶瓷、塑料等。有宏观加工:车铣刨磨床、五轴联动等。有宏观能源:蒸汽机、内燃机、电动机等。这些形成了宏观加工的机械化的产业链。1947年开始第二次工业革命,从机械化到智能化,用电脑来代替人脑,或者说是微观器件来代替人的各种感官,这样就形成了数码和智能时代,这个时代的特点叫微观加工。,用微观价值为核心产生微器件工业。
我们处在一个数码时代,而它的核心是微观加工,而微观加工的核心是微观加工的设备,这就是为什么美国政府、日本和荷兰政府限制我国数码时代的发展。
中国留学生从大陆到美国,为美国的领衔开发的或者作为主要的技术骨干开发的半导体设备有CCP等离子体刻蚀机、ICP 等离子体刻蚀机、PECVD设备、LPCVD设备、ALD设备、PVD 设备、CMP 设
备、ECP 设备、光学检测设备、电子束检测设备、MOCVD 设备。相信国内半导体设备产业假以时日一定有所发展。
中微发展状况: 1) 中微在国内先进的Flash Memory研发线的现有CCP刻蚀市占率在一年之内将上升53%,现有ICP刻蚀市占率在一年内将上升58%。中微在国内的先进的Logic研发线的现有CCP刻蚀市占率在一年之内将 上升42%,现有ICP刻蚀市占率在一年内将上升78%。
中微CCP已经在国际最先进Foundry总台数和在5纳米及更小器件制程上的反应台数为558台和234台,都是双台机。
中微UD-RIE的ChannelHole Etch已经达到国际一流水平,达到60:1的深孔。双反应台SD-RIE实时可变电极间距的金属掩膜大马士革刻蚀达到σ=0.4纳米。ICP Primo nanova LUX达到3DNAND碳模板 40:1高深宽比刻蚀要求。ICP等离子体刻蚀微观结构的线宽均匀性已经达到3σ<1纳米,已经做到原子水平加工。
中微MEMS传感器刻蚀机已达国际最先进水平,德国的 Bosch和意法半导体最先进的传感器都用中微的刻蚀机在欧洲加工。
高科技领域的竞争是一个正常现象,是推动这个科技发展的动力,但竞争必须是公平竞争,是合理的竞争,是有序的竞争。各种方式非法的获得竞争者的商业机密,甚至找到竞争者的图纸,经过反向的解剖来抄袭竞争的产品设计,复制别人的产品就是最不应该发生的事情。2010年,国内54家公司和研究所曾宣布开发GaN LED MOCVD设备,最终只有中微做成了这个设备。
美国VLSI research 公司,每一年都对全国全世界半导体设备公司进行综合性评比,它是主要是注重在产品竞争力和客户满意度,不注重公司规模。中微在 2018 年 2019 年参加这个评比,两次度被评为第三名,总分第刻三,等离子体刻蚀设备评为第二,薄膜设备被评为第一。Tech inside在收购VLSI research后,又做了一次全球的评比,综合评比中又评为第三。在薄膜设备被评为第一,在专用设备也被评为了第一。
第三次工业革命展望:
第一代工业革命叫机械化时代,第二代工业革命叫数码智能时代,第三代工业革命叫超人时代。第一代工业革命是用机器代替人手,第二代工业革命是用电脑和微观器件代替人的脑子和人的一切感
官。第三代国外革命制造的超人的代替人,就是对人的身体动刀子。在这个伟大的革命时代,这个核心的技术就是把生命科学和数码技术的最高层,甚至机械工业的最高层综合起来,把它形成电子生物工程、数码生物工程,这个就是这个第三代工业的基础。
第二个是超智能的机械,不是现在的Alphago,其实是个大数据,并没有什么人工智能,是能真正产生超支援的那种机械人。第三个就是用生物遗传、生物工程来造出人的器官和整体人。
在一场新的第三代工业革命,彻底改变人类自身的革命已经悄悄开始了,我们要进一步的认识这场革命的机会和风险,积极参与这场革命,积极引导这场革命向健康的方向发展。
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