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半导体封装设备——贴片机

   日期:2025-11-11 00:37:19     来源:网络整理    作者:本站编辑    评论:0    
半导体封装设备——贴片机

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贴片机(Die bonder),也称固晶机,将芯片从已经切割好的晶圆(Wafer)上抓取下来,并安置在基板对应的Die flag上,利用银胶(Epoxy)把芯片和基板粘接起来。贴片机可高速、高精度地贴放元器件,并实现定位、对准、倒装、连续贴装等关键步骤。
封装贴片机分为FC封装贴片机、FO封装贴片机和2.5D/3D贴片机。按照应用类型,可分为IC固晶机、分立器件固晶机、LED固晶机(贴片固晶机和COB固晶机),主要应用于半导体电芯片、光芯片、光模块、硅光器件、传感器等封装制程
由于先进封装技术如3D堆叠、系统级封装(SiP)、扇出型晶圆级封装(FOWLP)等需要处理更小尺寸的元件、更密集的布局以及更复杂的结构,因此对于贴片机的精度、效率提出了更高的要求。
精度方面,当前国产IC固晶机普遍精度为±25μm以上,而国际领先水平为±3~5μm,高端机型可达±1μm(如ASMPTCOS贴片机)。先进封装需求下,3DNAND、HBM等要求精度达到±1~3μm,以确保芯片与基板的精准对位和互连密度提升;效率方面,当前国产设备内UPH约为12-15K,而国际领先机型的中高精度设备UPH可达15-20K,高速机型(如ASMPT FC/FB系列)可突破25K。先进封装产线上,为满足高产能需求,需UPH提升至20K以上,甚至30K。
全球贴片机市场呈现双寡头格局,Besi和ASMPT合计占据超60%的市场份额。ASMPT拥有业内最高精度的贴片机和倒装芯片贴片机,公司四十多年来通过全球并购拥有德国西门子旗下SEAS、德国DEK、荷兰ALS1、葡萄牙Critica Manufacturing等一系列品牌,并在2018年收购了德国超高精准固晶设备供应商AMICRA; Besi则以低成本、高精度、高生产力和可靠性著称。

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