




真空计(vacuum gauge)介绍
用于测量低于大气压的稀薄气体总压力的仪表,又称真空规。真空计的测量单位沿用压力测量单位,压力的国际单位为帕(Pa),曾使用的单位还有托(Torr)和毫巴(mbar)等。
自1643年意大利物理学家E.托里拆利进行大气压力实验以来,先后出现许多种真空计。最早出现的是U形管真空计,它只能用来测量粗真空和低真空。1874年,H.G.麦克劳发明的压缩式真空计,解决了低真空和高真空的绝对压力的测量,但仍不能进行连续测量。1906年,M.皮喇尼发明电阻式真空计,解决了工业生产中的低真空测量问题。
分类
真空计可分为绝对真空计和相对真空计两大类。
凡能从其本身测得的物理量(如液柱高度、工作液、比重等)直接计算出气体压力的称绝对真空计,这种真空计测量精度较高,主要用作基准量具。相对真空计主要利用气体在低压力下的某些物理特性(如热传导、电离、粘滞性和应变等)与压力的关系间接测量,其测量精度较低,而且测量结果还与被测气体种类和成分有关。
U形管真空计 用以测量粗真空和低真空的绝对真空计。在U字形的玻璃管中充以工作液(低蒸气压的油、汞)。管的一端被抽成真空(或直接通大气),另一端接被测真空系统。根据两边管中的压差所造成的液柱差可测出被测真空系统的压力。
压缩式真空计 又称麦克劳真空计,是一种测量低真空和高真空的绝对真空计。这种真空计一般用硬质玻璃制成。A是一根与被测真空系统相连接的开管,D、B为内径相同的毛细管,V为球泡,其体积远大于毛细管。
电阻真空计 又称皮喇尼真空计,是一种测量低真空的相对真空计,主要由电阻式规管和测量线路两部分组成。电阻式规管是在管壳内封装着一条电阻温度系数较大的电阻丝,常用的为钨或铂丝。
热阴极电离真空计 通称电离真空计,主要用于高真空测量。它是由圆筒式热阴极电离规管和测量线路两部分组成。这种规管与三极电子管相似,有 3个电极:阴极(灯丝)、螺旋形栅极(加速极)和圆筒形收集极。测量时,规管与被测真空系统相连。通电后,热阴极发射电子,在飞向带正电位的加速极的路程中与管内空间的低压气体分子碰撞,使气体分子电离。
冷阴极电离真空计 一种测量高真空的相对真空计。它由电离规管和测量线路两部分组成。规管一般由两块平行的阴极、一个环形的阳极和产生磁场的磁钢构成。
用于测量低于大气压的稀薄气体总压力的仪表,又称真空规。真空计的测量单位沿用压力测量单位,压力的国际单位为帕(Pa),曾使用的单位还有托(Torr)和毫巴(mbar)等。
自1643年意大利物理学家E.托里拆利进行大气压力实验以来,先后出现许多种真空计。最早出现的是U形管真空计,它只能用来测量粗真空和低真空。1874年,H.G.麦克劳发明的压缩式真空计,解决了低真空和高真空的绝对压力的测量,但仍不能进行连续测量。1906年,M.皮喇尼发明电阻式真空计,解决了工业生产中的低真空测量问题。
分类
真空计可分为绝对真空计和相对真空计两大类。
凡能从其本身测得的物理量(如液柱高度、工作液、比重等)直接计算出气体压力的称绝对真空计,这种真空计测量精度较高,主要用作基准量具。相对真空计主要利用气体在低压力下的某些物理特性(如热传导、电离、粘滞性和应变等)与压力的关系间接测量,其测量精度较低,而且测量结果还与被测气体种类和成分有关。
U形管真空计 用以测量粗真空和低真空的绝对真空计。在U字形的玻璃管中充以工作液(低蒸气压的油、汞)。管的一端被抽成真空(或直接通大气),另一端接被测真空系统。根据两边管中的压差所造成的液柱差可测出被测真空系统的压力。
压缩式真空计 又称麦克劳真空计,是一种测量低真空和高真空的绝对真空计。这种真空计一般用硬质玻璃制成。A是一根与被测真空系统相连接的开管,D、B为内径相同的毛细管,V为球泡,其体积远大于毛细管。
电阻真空计 又称皮喇尼真空计,是一种测量低真空的相对真空计,主要由电阻式规管和测量线路两部分组成。电阻式规管是在管壳内封装着一条电阻温度系数较大的电阻丝,常用的为钨或铂丝。
热阴极电离真空计 通称电离真空计,主要用于高真空测量。它是由圆筒式热阴极电离规管和测量线路两部分组成。这种规管与三极电子管相似,有 3个电极:阴极(灯丝)、螺旋形栅极(加速极)和圆筒形收集极。测量时,规管与被测真空系统相连。通电后,热阴极发射电子,在飞向带正电位的加速极的路程中与管内空间的低压气体分子碰撞,使气体分子电离。
冷阴极电离真空计 一种测量高真空的相对真空计。它由电离规管和测量线路两部分组成。规管一般由两块平行的阴极、一个环形的阳极和产生磁场的磁钢构成。


