



MKS 925系列产品普遍具有以下特点和应用:
核心技术:采用微机电系统(MEMS) 的微皮拉尼(MicroPirani)传感器技术。
宽测量范围:测量范围从10⁻⁵ Torr(约10⁻⁸ mbar)直至大气压,比标准皮拉尼真空计范围更宽。
坚固耐用:传感器能抵御大气冲击和振动,并可在任何方向上安装而不会损失测量精度。
输出与通信:提供模拟电压输出(通常是0-9 VDC,1V/十进制)和数字通讯(RS232或RS485可选)。
显示与控制:部分型号配备集成触摸屏,用于本地读数与配置,并可设置用于工艺控制的继电器触点。
主要应用:广泛应用于半导体工业、一般的真空压力测量、前级管路和低真空测量、气体充填测量和控制、质谱仪控制等领域。#仪器仪表 #传感器 #自动化
核心技术:采用微机电系统(MEMS) 的微皮拉尼(MicroPirani)传感器技术。
宽测量范围:测量范围从10⁻⁵ Torr(约10⁻⁸ mbar)直至大气压,比标准皮拉尼真空计范围更宽。
坚固耐用:传感器能抵御大气冲击和振动,并可在任何方向上安装而不会损失测量精度。
输出与通信:提供模拟电压输出(通常是0-9 VDC,1V/十进制)和数字通讯(RS232或RS485可选)。
显示与控制:部分型号配备集成触摸屏,用于本地读数与配置,并可设置用于工艺控制的继电器触点。
主要应用:广泛应用于半导体工业、一般的真空压力测量、前级管路和低真空测量、气体充填测量和控制、质谱仪控制等领域。#仪器仪表 #传感器 #自动化


