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半导体设备导入流程

   日期:2025-11-05 22:17:43     来源:网络整理    作者:本站编辑    评论:0    
半导体设备导入流程

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半导体设备导入流程

因为公司是新建fab,一些设备也要陆陆续续进厂,我也神不知鬼不觉就参与到了这个过程当中。起初真的啥都不懂,参与进来一段时间后,也是懵懵懂懂。浅谈一下我在当中负责的工作吧,主要就是:
1️⃣和MPC协调,下线晶圆用于T3 T4阶段
2️⃣和MFG,module开会,制定lot的split table
3️⃣带qual tool lot
4️⃣看inline,WAT,给module结论该机台是否可以rls(这一部分结论是由老员工给出的,我可不敢下结论

5️⃣定期summary一份导入进度报告
一点反思:要调动积极主动性,向老员工取经怎么下结论。不然还是兜兜转转在原地,精髓一点没学到。
▃▃▃▃▃▃▃▃▃▃▃▃▃▃▃▃▃▃▃▃▃▃
以下是对来自半导体行业芯声的图文内容的总结:
设备引入评估验证复杂,周期6 - 12个月。新设备进工厂都要评估验证。分为以下阶段:
Tier 0:设备进场准备,定位、对接、装机。
Tier 1:硬件基本性能测试。
Tier 2:基本工艺性能测试,目标offline数据match BKM。
Tier 3:工艺调试,目标offline数据、match客户Baseline 。
Tier 4:产品片小量分片测试,做WAT、CP、RE等测试。
Tier 5:设备批量产验证测试,同样做WAT等测试。
#工艺整合工程师 #半导体设备 #fab #半导体
 
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