设备小认知
AMAT RF3 是应用材料（AMAT）的涂胶显影机，专门为半导体光刻环节设计～二手款保留了核心工艺性能，很适合中小晶圆厂或研发实验室，性价比超可哦?
核心参数揭秘
适用晶圆：支持 8 英寸晶圆，兼容硅、砷化镓等常见衬底
涂胶精度：胶厚控制误差≤±2%，涂布均匀无气泡，边缘胶厚一致性超棒
显影效率：单批次处理 6 片，涂胶 - 烘烤 - 显影全流程约 6 分钟
温控系统：多段式加热台，温度 30-200℃可调，控温精度 ±0.5℃，保障胶膜质量
拿手本领
能精准控制光刻胶厚度和显影程度，特别适合 0.35μm 及以上制程的光刻前处理。二手设备的机械传动和液体管路稳定性还很强，工艺重复性在线✨
二手小优势
核心部件（涂胶电机、加热模块）寿命还很长。入手时检查涂胶喷嘴有无堵塞、显影液分配是否均匀就好～保养得当再用 4-5 年没问题，超适合精打细算的小伙伴！
#涂胶显影机 #AMAT #光刻胶 #二手设备 #芯片 #半导体设备
AMAT RF3 是应用材料（AMAT）的涂胶显影机，专门为半导体光刻环节设计～二手款保留了核心工艺性能，很适合中小晶圆厂或研发实验室，性价比超可哦?
核心参数揭秘
适用晶圆：支持 8 英寸晶圆，兼容硅、砷化镓等常见衬底
涂胶精度：胶厚控制误差≤±2%，涂布均匀无气泡，边缘胶厚一致性超棒
显影效率：单批次处理 6 片，涂胶 - 烘烤 - 显影全流程约 6 分钟
温控系统：多段式加热台，温度 30-200℃可调，控温精度 ±0.5℃，保障胶膜质量
拿手本领
能精准控制光刻胶厚度和显影程度，特别适合 0.35μm 及以上制程的光刻前处理。二手设备的机械传动和液体管路稳定性还很强，工艺重复性在线✨
二手小优势
核心部件（涂胶电机、加热模块）寿命还很长。入手时检查涂胶喷嘴有无堵塞、显影液分配是否均匀就好～保养得当再用 4-5 年没问题，超适合精打细算的小伙伴！
#涂胶显影机 #AMAT #光刻胶 #二手设备 #芯片 #半导体设备
