#超低温探针台 #器件测试 #凝聚态物理 #深能级 #二维材料 #二维材料器件 #探针台 #仪器仪表 #真空探针台 #探针台厂家
半导体的掺杂浓度、缺陷能级位、界面态(俘获界面)是研究半导体性质的重要手段。此
设备根据半导体 P-N 结、金－半接触结构肖特基结的瞬态电容（△C～t）技术和深能级瞬
态谱（DLTS）的发射率窗技术测量出的深能级瞬态谱，是一种具有很高检测灵敏度的实验
方法，能检测半导体中微量杂质、缺陷的深能级及界面态。通过对样品的温度扫描，可以给
出表征半导体禁带范围内的杂质、缺陷深能级及界面态随温度（即能量）分布的 DLTS 谱。
特点
自动接触检查
常规测试和加强软件
自动电容补偿
三终端 FET电流瞬态测量
大电容和浓度范围
灵活性高、模块化硬件
支持各种冷却仓和温度控制器
傅里叶转换（F-DLTS） ，比例窗口和用户自定义校正功能
半导体的掺杂浓度、缺陷能级位、界面态(俘获界面)是研究半导体性质的重要手段。此
设备根据半导体 P-N 结、金－半接触结构肖特基结的瞬态电容（△C～t）技术和深能级瞬
态谱（DLTS）的发射率窗技术测量出的深能级瞬态谱，是一种具有很高检测灵敏度的实验
方法，能检测半导体中微量杂质、缺陷的深能级及界面态。通过对样品的温度扫描，可以给
出表征半导体禁带范围内的杂质、缺陷深能级及界面态随温度（即能量）分布的 DLTS 谱。
特点
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三终端 FET电流瞬态测量
大电容和浓度范围
灵活性高、模块化硬件
支持各种冷却仓和温度控制器
傅里叶转换（F-DLTS） ，比例窗口和用户自定义校正功能
