在半导体、光伏等高端制造中，常需使用由液态源汽化而成的工艺气体（如TEOS、SiCl4等）。这类气体流量难以控制，直接影响芯片薄膜的质量。Vapor Controller（蒸汽控制器）正是为此而生的关键部件。它确保汽化后的气体能以精确，稳定的流量进入反应室。
Vapor Controller的核心工作原理是“速度-密度”闭环控制：
1. 速度控制：主路有一个质量流量计(MFC)，精确控制载气的流量。
2. 密度测量：旁路配备一个密度计，实时监测汽化气体的浓度（密度）。
3. 协同运算：控制器将“速度”与“密度”信息进行整合，计算出实时的质量流量，并快速调节阀门，使流量精确匹配设定值。
作为该领域的经典产品之一，Tylan VC4900便是一款成功的Vapor Controller。
客思特设备有限公司，专注MFC技术40年，深耕国内市场20年，为客户提供一站式解决方案，包括设备选型、采购、维修全流程支持。欢迎广大客户私信咨询。
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2. 密度测量：旁路配备一个密度计，实时监测汽化气体的浓度（密度）。
3. 协同运算：控制器将“速度”与“密度”信息进行整合，计算出实时的质量流量，并快速调节阀门，使流量精确匹配设定值。
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