一、核心真空部件：功能+故障+排查
真空腔体（Chamber）：采用不锈钢/石英材质，耐受高温制程（≤1200℃），密封槽搭配O型圈防漏气。常见故障：腔体变形（高温热应力）、漏气（O型圈老化/划痕）；排查要点：氦检仪检测漏点，定期检查腔体内壁腐蚀情况，O型圈每3个月更换一次。
真空泵（Vacuum Pump）：主流为干式螺杆泵，抽速范围50-300m³/h，为制程提供10⁻³-10⁻⁵Pa真空环境。常见故障：抽速下降（泵内滤芯堵塞）、异响（轴承磨损）；排查要点：观察真空计数值变化，定期清理滤芯，运行时长超8000小时需检修轴承。
真空阀门（Valve）：包含角阀、闸阀，控制腔体与真空泵的通断，高频动作部件易损耗。常见故障：阀门卡滞（异物堵塞）、密封不严（阀座磨损）；排查要点：手动测试阀门开关灵活性，用酒精清洁阀座杂质，避免制程粉尘堆积。
真空计（Gauge）：分为热偶规（低真空）和电离规（高真空），实时监测腔体真空度。常见故障：数值漂移（传感器污染）、无显示（供电异常）；排查要点：定期校准传感器，清洁探头表面沉积物，检查供电线路连接。
二、真空度不稳定调试技巧
真空度波动是高频问题，核心排查方向：1. 密封件：检查O型圈是否老化、安装是否到位，更换时需涂抹真空硅脂；2. 管路：排查管道接头是否松动，用肥皂水涂抹检测气泡；3. 真空泵：确认泵油液位（油式泵）或滤芯状态（干式泵），必要时更换泵油/滤芯；4. 制程影响：通制程气体时需先稳定真空，避免气体流量突变导致波动。
三、新机调试&日常保养重点
新机真空调试：先空载抽真空至目标值（如10⁻⁴Pa），保压2小时，真空度下降≤5%为合格；再加载模拟制程气体，测试真空恢复速度。
日常保养：1. 每日：检查真空计数值、真空泵运行状态，清理腔体入口粉尘；2. 每周：清洁真空阀门阀座，检查管路密封性；3. 每月：校准真空计，检修真空泵，更换易损部件（如滤芯、O型圈）。
四、小科普：真空度≠绝对真空
很多同行易混淆：绝对真空（理论真空，气压=0）无法实现，半导体制程中“高真空”指10⁻³-10⁻⁵Pa，“超高真空”指10⁻⁶Pa以下，需根据制程需求选择对应真空级别。
以上是真空系统核心知识点，全是实操经验。同行有故障案例或疑问，欢迎留言交流～#芯片 #半导体设备 #半导体
真空腔体（Chamber）：采用不锈钢/石英材质，耐受高温制程（≤1200℃），密封槽搭配O型圈防漏气。常见故障：腔体变形（高温热应力）、漏气（O型圈老化/划痕）；排查要点：氦检仪检测漏点，定期检查腔体内壁腐蚀情况，O型圈每3个月更换一次。
真空泵（Vacuum Pump）：主流为干式螺杆泵，抽速范围50-300m³/h，为制程提供10⁻³-10⁻⁵Pa真空环境。常见故障：抽速下降（泵内滤芯堵塞）、异响（轴承磨损）；排查要点：观察真空计数值变化，定期清理滤芯，运行时长超8000小时需检修轴承。
真空阀门（Valve）：包含角阀、闸阀，控制腔体与真空泵的通断，高频动作部件易损耗。常见故障：阀门卡滞（异物堵塞）、密封不严（阀座磨损）；排查要点：手动测试阀门开关灵活性，用酒精清洁阀座杂质，避免制程粉尘堆积。
真空计（Gauge）：分为热偶规（低真空）和电离规（高真空），实时监测腔体真空度。常见故障：数值漂移（传感器污染）、无显示（供电异常）；排查要点：定期校准传感器，清洁探头表面沉积物，检查供电线路连接。
二、真空度不稳定调试技巧
真空度波动是高频问题，核心排查方向：1. 密封件：检查O型圈是否老化、安装是否到位，更换时需涂抹真空硅脂；2. 管路：排查管道接头是否松动，用肥皂水涂抹检测气泡；3. 真空泵：确认泵油液位（油式泵）或滤芯状态（干式泵），必要时更换泵油/滤芯；4. 制程影响：通制程气体时需先稳定真空，避免气体流量突变导致波动。
三、新机调试&日常保养重点
新机真空调试：先空载抽真空至目标值（如10⁻⁴Pa），保压2小时，真空度下降≤5%为合格；再加载模拟制程气体，测试真空恢复速度。
日常保养：1. 每日：检查真空计数值、真空泵运行状态，清理腔体入口粉尘；2. 每周：清洁真空阀门阀座，检查管路密封性；3. 每月：校准真空计，检修真空泵，更换易损部件（如滤芯、O型圈）。
四、小科普：真空度≠绝对真空
很多同行易混淆：绝对真空（理论真空，气压=0）无法实现，半导体制程中“高真空”指10⁻³-10⁻⁵Pa，“超高真空”指10⁻⁶Pa以下，需根据制程需求选择对应真空级别。
以上是真空系统核心知识点，全是实操经验。同行有故障案例或疑问，欢迎留言交流～#芯片 #半导体设备 #半导体
