![FC TECHNIK 质量流量控制器 FLOX[ON]64](https://img.bim99.cn/ssd/ssd4/56/2025-11-02/56_2d661e1808e19a155184870d508ca7df.webp)
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质量流量控制器是一种用于精确测量和控制气体或液体质量流量的设备。
质量流量控制器
作用： 它不仅能量测流经气体的质量流量（单位通常是 sccm、slm 或 g/h），还能通过内置的调节阀自动将流量控制在使用者设定的值。
工作原理： 通常基于热式原理。传感器部分加热气体，并通过测量上下游的温度差来计算流量。控制器部分则将测量值与设定值比较，并驱动阀门动作以消除偏差。
核心组成部分： 传感器、控制阀、电子控制单元。
FLOX[ON]64
这是该控制器的具体型号。根据FC Technik产品的命名习惯，这个型号可能包含以下信息：
量程： “64” 可能对应一个特定的流量范围，例如 64 sccm（标准毫升每分钟）、640 sccm 或 64 slm（标准升每分钟）。需要查阅具体的数据手册才能确认。
连接方式： 可能是 VCR®、Swagelok®、CF法兰或螺纹接口。
控制信号： 通常是模拟信号（如 0-5V / 0-10V 用于设定和测量）或数字通信（如 RS485、DeviceNet、Profibus 等）。
典型应用领域
这种高精度的设备通常用于需要严格控制气体流量的工业和高科技领域：
半导体制造： 在刻蚀、化学气相沉积等工艺中控制反应气体。
光伏产业： 在薄膜太阳能电池的生产中。
科研实验： 需要精确配比混合气体的实验室。
真空镀膜： 控制溅射或蒸发过程中的工艺气体。
分析仪器： 作为气相色谱等仪器的进样部件。
FC TECHNIK FLOX[ON]64 是一款来自德国FC Technik公司的高精度质量流量控制器，适用于对气体流量控制有严苛要求的工业和高科技环境。其具体技术参数需要通过官方资料来确认。
#电气自动化维修 #工业自动化 #电子元器件 #传感器 #自动化
质量流量控制器是一种用于精确测量和控制气体或液体质量流量的设备。
质量流量控制器
作用： 它不仅能量测流经气体的质量流量（单位通常是 sccm、slm 或 g/h），还能通过内置的调节阀自动将流量控制在使用者设定的值。
工作原理： 通常基于热式原理。传感器部分加热气体，并通过测量上下游的温度差来计算流量。控制器部分则将测量值与设定值比较，并驱动阀门动作以消除偏差。
核心组成部分： 传感器、控制阀、电子控制单元。
FLOX[ON]64
这是该控制器的具体型号。根据FC Technik产品的命名习惯，这个型号可能包含以下信息：
量程： “64” 可能对应一个特定的流量范围，例如 64 sccm（标准毫升每分钟）、640 sccm 或 64 slm（标准升每分钟）。需要查阅具体的数据手册才能确认。
连接方式： 可能是 VCR®、Swagelok®、CF法兰或螺纹接口。
控制信号： 通常是模拟信号（如 0-5V / 0-10V 用于设定和测量）或数字通信（如 RS485、DeviceNet、Profibus 等）。
典型应用领域
这种高精度的设备通常用于需要严格控制气体流量的工业和高科技领域：
半导体制造： 在刻蚀、化学气相沉积等工艺中控制反应气体。
光伏产业： 在薄膜太阳能电池的生产中。
科研实验： 需要精确配比混合气体的实验室。
真空镀膜： 控制溅射或蒸发过程中的工艺气体。
分析仪器： 作为气相色谱等仪器的进样部件。
FC TECHNIK FLOX[ON]64 是一款来自德国FC Technik公司的高精度质量流量控制器，适用于对气体流量控制有严苛要求的工业和高科技环境。其具体技术参数需要通过官方资料来确认。
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