#实验室仪器 #仪器仪表 #探针台 #器件测试 #科研 #二维材料 #凝聚态物理
1.1真空腔体，6个探针臂接口，真空泵接口，样品台
1.1.1真空腔体：直径为8英寸，带2英寸高红外吸收率，高可见光透射观察窗、防辐射屏和屏蔽帘
1.2.1* 探针臂：搭配4个三轴直流探针臂；直流探针臂接口预留为三同轴接口
1.3.1* 探针臂X方向移动范围为≥2英寸；Y方向移动范围为≥2英寸；Z方向移动范围为≥1/2 英寸。X/Y/Z方向的移动分辨率都优于3微米
1.4.1样品台：直径2英寸，平整度优于5微米
1.5.1一个KF25真空抽气口。两个快速破真空进气口，预留为6 mm卡套连接接口
1.6.1*系统极限噪音电流≤100 fA
1.2开循环制冷结构
1.2.1*系统变温范围：80K～500K，采用连续流降温技术，降温时间小于30分钟
1.2.2同轴制冷剂入口，具有二级热交换平台，能够提高使用冷剂效率
1.2.3温度稳定性：小于100 K时，< ±50 mK；全温度区间，<±100 mK
1.2.4高精度液氮传输管线。搭配≥50L液氮杜瓦罐，自增压
1.2.5系统在探针与样品座之间采用热沉设计，保证探针温度和样品座温度误差≤0.3 K
1.2.6*温控仪，分辨率优于0.001 K
1.3分子泵组TURBOVAC 90i
1.3.1前级泵DIVAC 3.0: 真空连接 DN 63 ISO-K/CF; N2抽速90 L/s，前级泵抽速3.0 m3/h; 电压230±10% V; 功率3680 VA
1.3.2高真空连接 DN 63 ISO-K/CF; 前级泵连接DN 16 KF
N2最大抽速L/s 90 He最大抽速L/s 90 H2最大抽速L/s 78
N2压缩比1 × 1011 H2压缩比5 × 107
1.3.3漏率优于:1.3×10-10 Pa.m3/S
二、影像系统
2.1 500万像素彩色CMOS工业相机, HDMI数字传输接口，数据传输速率≥480MPS, 亮度、对比度、饱和度、锐度和伽马值软件可调，具有录像，拍照功能 #实验室日常 #二维材料 #器件
1.1真空腔体，6个探针臂接口，真空泵接口，样品台
1.1.1真空腔体：直径为8英寸，带2英寸高红外吸收率，高可见光透射观察窗、防辐射屏和屏蔽帘
1.2.1* 探针臂：搭配4个三轴直流探针臂；直流探针臂接口预留为三同轴接口
1.3.1* 探针臂X方向移动范围为≥2英寸；Y方向移动范围为≥2英寸；Z方向移动范围为≥1/2 英寸。X/Y/Z方向的移动分辨率都优于3微米
1.4.1样品台：直径2英寸，平整度优于5微米
1.5.1一个KF25真空抽气口。两个快速破真空进气口，预留为6 mm卡套连接接口
1.6.1*系统极限噪音电流≤100 fA
1.2开循环制冷结构
1.2.1*系统变温范围：80K～500K，采用连续流降温技术，降温时间小于30分钟
1.2.2同轴制冷剂入口，具有二级热交换平台，能够提高使用冷剂效率
1.2.3温度稳定性：小于100 K时，< ±50 mK；全温度区间，<±100 mK
1.2.4高精度液氮传输管线。搭配≥50L液氮杜瓦罐，自增压
1.2.5系统在探针与样品座之间采用热沉设计，保证探针温度和样品座温度误差≤0.3 K
1.2.6*温控仪，分辨率优于0.001 K
1.3分子泵组TURBOVAC 90i
1.3.1前级泵DIVAC 3.0: 真空连接 DN 63 ISO-K/CF; N2抽速90 L/s，前级泵抽速3.0 m3/h; 电压230±10% V; 功率3680 VA
1.3.2高真空连接 DN 63 ISO-K/CF; 前级泵连接DN 16 KF
N2最大抽速L/s 90 He最大抽速L/s 90 H2最大抽速L/s 78
N2压缩比1 × 1011 H2压缩比5 × 107
1.3.3漏率优于:1.3×10-10 Pa.m3/S
二、影像系统
2.1 500万像素彩色CMOS工业相机, HDMI数字传输接口，数据传输速率≥480MPS, 亮度、对比度、饱和度、锐度和伽马值软件可调，具有录像，拍照功能 #实验室日常 #二维材料 #器件
