精巧型真空腔体测试腔：高精度环境敏感材料电学信号测试解决方案
针对气体敏感材料及环境敏感型器件的电学特性测试需求，KT-Z165M4RT精巧型真空腔体测试腔通过集成温度控制、真空环境与精密探针定位技术，为未封装叉指电极、MEMS传感器等微小器件提供高可靠性测试平台。
核心功能与创新设计：
宽温域精密控温：不锈钢加热承载台（φ26×26）支持-190℃至400℃连续温控，满足低温超导材料与高温半导体器件的测试需求。
三维可调探针系统：台面四周配置微型3轴钨钢探针，通过手动微调实现±5μm定位精度，适配叉指电极间距＜50μm的微小器件引脚接触。
高真空兼容性：双真空接口设计（机械泵＜5Pa，分子泵＜-3Pa），结合军工级真空电极信号接头，确保测试环境气密性与信号抗干扰能力。
典型应用场景：
气体传感器（如CO₂、H₂S）在模拟大气环境下的电阻/电容特性分析
未封装MEMS器件在真空/惰性气体环境中的电学性能测试
低温超导材料临界温度（Tc）测量与相变研究
操作流程：
将待测器件置于加热台面，通过温控系统设置目标温度；
手动调节3轴探针至器件引脚接触点，确保低接触电阻（＜1Ω）；
连接外部信号线至测试仪器（如LCR表、源表），采集电学参数；
通过进气口注入特定气体（如O₂、N₂），观察器件响应特性。
#真空高温热台 #实验 #真空高低温探针台 #真空热台 #实验室仪器 #真空探针台 #探针台 #
针对气体敏感材料及环境敏感型器件的电学特性测试需求，KT-Z165M4RT精巧型真空腔体测试腔通过集成温度控制、真空环境与精密探针定位技术，为未封装叉指电极、MEMS传感器等微小器件提供高可靠性测试平台。
核心功能与创新设计：
宽温域精密控温：不锈钢加热承载台（φ26×26）支持-190℃至400℃连续温控，满足低温超导材料与高温半导体器件的测试需求。
三维可调探针系统：台面四周配置微型3轴钨钢探针，通过手动微调实现±5μm定位精度，适配叉指电极间距＜50μm的微小器件引脚接触。
高真空兼容性：双真空接口设计（机械泵＜5Pa，分子泵＜-3Pa），结合军工级真空电极信号接头，确保测试环境气密性与信号抗干扰能力。
典型应用场景：
气体传感器（如CO₂、H₂S）在模拟大气环境下的电阻/电容特性分析
未封装MEMS器件在真空/惰性气体环境中的电学性能测试
低温超导材料临界温度（Tc）测量与相变研究
操作流程：
将待测器件置于加热台面，通过温控系统设置目标温度；
手动调节3轴探针至器件引脚接触点，确保低接触电阻（＜1Ω）；
连接外部信号线至测试仪器（如LCR表、源表），采集电学参数；
通过进气口注入特定气体（如O₂、N₂），观察器件响应特性。
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