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非接触式激光多普勒干涉三维显微激光测振仪

   日期:2025-11-01 19:36:35     来源:网络整理    作者:本站编辑    评论:0    
非接触式激光多普勒干涉三维显微激光测振仪

非接触式激光多普勒干涉三维显微激光测振仪

三维显微激光测振仪,面向微机电系统器件、集成电路电子元器件和生物医学微纳结构的三维动态特性测量需求,采用非接触式激光多普勒干涉技术,结合高分辨率显微物镜,实现微结构的三维速度、位移、加速度和振动谱等测量。
主要功能技术指标:
1.具有三维振动速度位移加速度测量功能;
2.测量频率范围:DC~25MHz,分15档;
3.最大测量速度:±10m/s,分13档;
4.速度分辨率:5nm/s/Hz1/2@1kHz;
5.位移测量范围:±500nm,分6档;
6.位移分辨率:30fm/Hz1/2。
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