在半导体制造、真空镀膜、新能源研发等工业领域，高温气体流量的精确测量直接影响工艺质量和生产效率。
? 高温气体测量注意事项
温度适配性
- 常规质量流量计（MFC）通常适用于室温至45℃环境
- 高温气体会导致传感器精度下降，严重时可能造成设备损坏
- 选型时需确认设备温度范围是否符合工艺要求
密封性能
- 高温环境下，非金属密封材料容易老化失效
- 建议选用全金属密封结构，确保长期稳定运行
- 优质设备的漏率应低于1×10⁻⁶ atm·cc/s
测量原理选择
- 热式质量流量计在高温环境下可能出现测量偏差
- 层流压差式原理在高温工况下表现更稳定
安装环境要求
- 确保设备周围通风良好，避免热量积聚
- 必要时配备专用散热装置
? 专业推荐：Aera FC-7800CHT高温流量计
核心优势
✔️全金属密封结构，耐高温耐腐蚀
✔️量程范围宽
✔️测量精度高
✔️响应速度快
✔️适用气体类型：包括腐蚀性气体
应用场景
▪️半导体制造工艺（CVD/PVD）
▪️真空镀膜设备
▪️新能源电池保护气体控制
▪️实验室高温反应装置
客思特设备有限公司，专注MFC技术40年，深耕国内市场20年，以专业技术与可靠服务，助力工业自动化与精密流量控制。我司提供流体测量一站式解决方案：提供设备选型、采购、维修全流程支持。所有设备享1年免费保修，长期维护无忧。欢迎随时私信咨询，提供行业定制化方案与产品资料。
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温度适配性
- 常规质量流量计（MFC）通常适用于室温至45℃环境
- 高温气体会导致传感器精度下降，严重时可能造成设备损坏
- 选型时需确认设备温度范围是否符合工艺要求
密封性能
- 高温环境下，非金属密封材料容易老化失效
- 建议选用全金属密封结构，确保长期稳定运行
- 优质设备的漏率应低于1×10⁻⁶ atm·cc/s
测量原理选择
- 热式质量流量计在高温环境下可能出现测量偏差
- 层流压差式原理在高温工况下表现更稳定
安装环境要求
- 确保设备周围通风良好，避免热量积聚
- 必要时配备专用散热装置
? 专业推荐：Aera FC-7800CHT高温流量计
核心优势
✔️全金属密封结构，耐高温耐腐蚀
✔️量程范围宽
✔️测量精度高
✔️响应速度快
✔️适用气体类型：包括腐蚀性气体
应用场景
▪️半导体制造工艺（CVD/PVD）
▪️真空镀膜设备
▪️新能源电池保护气体控制
▪️实验室高温反应装置
客思特设备有限公司，专注MFC技术40年，深耕国内市场20年，以专业技术与可靠服务，助力工业自动化与精密流量控制。我司提供流体测量一站式解决方案：提供设备选型、采购、维修全流程支持。所有设备享1年免费保修，长期维护无忧。欢迎随时私信咨询，提供行业定制化方案与产品资料。
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