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国外MEMS惯性技术经二十多年的理论与实践,技术相对成熟,众多科研单位及公司如Honeywell、ADI、Sensonor、Silicon Sensing、Colibrys等公司已经有成熟的商业化应用。
国内从事高性能MEMS惯性传感器研发及应用的单位主要为央企集团和科研院所,目前已实现产业化应用的单位主要包括美泰科技等。
经查询上述公司的官方网站等公开披露的资料,其基本情况如下:
1、国际主要企业
A.Honeywell
Honeywell由联合讯号公司及霍尼韦尔公司合并而成,是在多元化技术和制造业方面占世界领导地位的跨国公司。该公司主要产品被广泛应用于农业、自主式水下航行器、通信、工业设备、船舶及潜航器、石油和天然气、机器人、地图测绘、稳定平台、交通运输、无人机、地面无人车辆等领域。目前Honeywell在MEMS陀螺仪的研制开发领域是世界最高水平的公司之一,其高性能硅基MEMS惯性传感器销售额位居世界前列。
B.ADI
ADI是全球领先的高性能模拟技术公司,致力于为客户解决复杂的工程难题。ADI将MEMS技术应用于传感器和执行器产品中,其MEMS产品组合包括用于感测线加速度的加速度计、用于感测旋转的陀螺仪、用于感测多个自由度(沿多个轴组合多种感测类型)的惯性测量单元,以及适用于无线电和仪器系统的宽带开关,其高性能硅基MEMS惯性传感器出货量位居世界前列。
C.Sensonor
Sensonor是MEMS技术的全球领导者,在开发和制造高性能传感器方面拥有30多年的经验。该公司设计和制造高精度战术级陀螺仪传感器、MEMS陀螺仪模块和惯性测量单元,为工业和商业市场等领域客户提供服务。
D.Silicon Sensing
Silicon Sensing是一家陀螺仪和惯性系统工程开发公司。该公司的产品包括MEMS陀螺仪传感器、加速度计、惯性传感器模块等,广泛应用于航空、测绘、钻井、精准农业、导航辅助、自动驾驶等多个领域。
E.Colibrys
Colibrys是基于MEMS技术加速度传感器的全球领先的供应商之一,一直在开发和生产用于航空和安全关键应用的MEMS加速度计,具有完备的MEMS产品设计、研究开发、芯片生产、封装和混合机电元件测试技术。
2、境内主要企业
河北美泰电子科技有限公司专门致力于MEMS(微电子机械系统)器件与系统的研发、生产和销售,是国内知名MEMS核心芯片、器件和系统产品供应商。优势产品包括MEMS惯性器件与系统、MEMS传感器、汽车传感器、压力传感器、射频MEMS器件等,产品广泛应用于航空航天、高铁、汽车、自动驾驶、通信、地震监测、物联网、智慧城市、智能家电等领域。
3、同行业厂商情况对比
A.主要公司的产品布局

资料来源:Yole Developpement,High-End Inertial Sensors for Defense, Aerospace and Industrial Applications 2020,产品说明书
B.竞争公司的差异
国内外知名MEMS传感器生产商的技术水平、市场份额、行业排名等情况具体如下:

注:市场份额及行业排名根据Yole发布的High-End Inertial Sensing 2022中披露的高性能MEMS惯性传感器行业排名
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