图表 62：2021-2027年我国射频电源需求规模
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正文目录
1、射频电源行业概述 6
1.1、射频电源行业介绍 6
1.2、射频电源行业应用 8
1.3、射频电源行业结构 12
1.4、射频电源行业分类 13
1.5、射频电源行业壁垒 17
1.6、射频电源行业趋势 18
2、全球射频电源行业状况 18
2.1、全球射频电源行业发展 19
2.2、全球射频电源行业规模 19
2.2、全球射频电源行业格局 25
2.3、全球核心厂商分析 27
2.3.1、MKS Instruments 27
（1）、公司状况 27
（2）、公司经营 28
2.3.2、Advanced Energy 30
（1）、公司状况 30
（2）、公司经营 31
2.3.3、Comet 32
（1）、公司介绍 32
（2）、公司产品 33
（3）、最新动态 34
2.3.4、Ceres 36
2.3.5、Trumpf 37
3、我国射频电源行业状况 40
3.1、我国射频电源行业环境 40
3.2、我国射频电源行业场景 43
3.3、我国射频电源行业前景 45
3.4、我国射频电源行业进展 47
4、我国射频电源主要厂商 49
4.1、英杰电气股份有限公司 49
4.1.1、公司状况 49
4.1.2、业务结构 52
4.1.3、射频电源进展 53
4.2、恒运昌真空技术有限公司 55
4.2.1、公司介绍 55
4.2.2、公司状况 56
4.2.3、射频电源进展 56
5、报告结论 57
图表目录
图表 1：电源按照功能分类 6
图表 2：我国无线电频率划分 6
图表 3：射频电源产品图示 7
图表 4：等离子体是气体分子或原子与外层电子分开的一种状态 8
图表 5：射频电源主要应用于半导体及光伏领域 9
图表 6：等离子体在半导体产业应用 10
图表 7：电容性等离子体刻蚀（CCP 刻蚀）反应腔 10
图表 8：电感性等离子体刻蚀（ICP 刻蚀）反应腔 11
图表 9：PECVD 原理图 11
图表 10：射频电源原理 12
图表 11：射频电源结构 13
图表 12：ISM（Industrial、Scientific、Medical）频段 13
图表 13：射频电源应用中通常离子密度和频率呈正比，离子能量和频率呈反比 14
图表 14：电子管和晶体管射频电源比较 15
图表 15：功率放大器分类 15
图表 16：不同功率放大器对比 15
图表 17：匹配网络配套射频电源使用 16
图表 18：自动匹配器产品图示 16
图表 19：半导体制造对射频电源及匹配网络提出更高要求 17
图表 20：多频射频电源 18
图表 21：全球射频电源及匹配网络演进 19
图表 22：半导体设备上游零部件种类及竞争情况 20
图表 23：拓荆科技各类原材料采购金额（万元）及占比 21
图表 24：2022年全球半导体设备市场结构 21
图表 25：全球半导体设备产线价值占比 22
图表 26：2019-2022年全球刻蚀设备市场规模（亿美元） 23
图表 27：2019-2022年全球薄膜沉积设备市场规模（亿美元） 23
图表 28：射频电源系统占晶圆厂设备支出比例逐渐提升 24
图表 29：全球半导体设备射频电源市场规模 24
图表 30：MKS 在半导体设备射频电源份额第一 25
图表 31：AE在半导体设备射频电源份额前二 26
图表 32：MKS 提供广泛的半导体设备零部件产品和解决方案 27
图表 33：MKS 提供广泛的半导体设备零部件产品和解决方案 28
图表 34：MKS 为半导体工艺提供全面解决方案 28
图表 35：MKS在多个细分领域处于行业领先地位 29
图表 36：AE产品及下游 30
图表 37：AE产品和技术发展历程 31
图表 38：AE半导体设备相关电源业务及地位 31
图表 39：Comet射频电源及阻抗匹配网络 33
图表 40：Comet提供具有脉冲和精确功率控制的全功能射频电源 33
图表 41：Comet射频传输系统 33
图表 42：2023年发布synnertia®射频功率传输平台 34
图表 43：13.56 MHz synnertia®射频发生器 35
图表 44：技术数据 35
图表 45：公司产品 36
图表 46：2021/22 财政年度Trumpf状况 37
图表 47：通快电源业务 37
图表 48：TruPlasma Bipolar 4000 (G2.1) 系列 38
图表 49：TruPlasma RF Air 1000 系列 39
图表 50：TruPlasma RF 1000 / 3000 (G2/13) 系列 39
图表 51：中芯国际扩产及资本开支整理及预测 40
图表 52：2022年BIS管制新规限制中国先进制程发展 41
图表 53：全球半导体设备市场规模地区结构 42
图表 54：我国半导体零部件供应商及自给率 42
图表 55：射频电源在CCP上应用 43
图表 56：射频电源在ICP上应用 43
图表 57：射频电源在PECVD 上应用 44
图表 58：射频电源在PVD 上应用 44
图表 59：半导体前道设备年均增速 45
图表 60：半导体零部件细分领域占比 46
图表 61：新增半导体设备全球分布 46
图表 62：2021-2027年我国射频电源需求规模 47
图表 63：2021-2027年我国射频电源国产规模 47
图表 64：阻抗匹配器说明图 48
图表 65：功率放大器示意图 48
图表 66：英杰电气发展历程 50
图表 67：英杰电气主要业务及所处产业链 50
图表 68：英杰电气2015-2022 年营业收入及增速（亿元） 51
图表 69：英杰电气2015-2022 年归母净利润及增速（亿元） 51
图表 70：英杰电气产品结构 53
图表 71：英杰电气下游结构 53
图表 72：英杰电气部分下游及客户 54
图表 73：英杰电气射频电源及匹配器产品 55
图表 74：英杰电气射频电源产品参数 55
图表 75：恒运昌产品 56
图表 76：恒运昌射频电源及自动匹配器产品 58
