【公司简介】
上海万业企业股份有限公司(SH.600641)旗下上海凯世通半导体股份有限公司(简称“凯世通”)成立于2009年,是国内领先的高端集成电路离子注入机装备企业,凭借强劲发展势能,已经成长为国产第一梯队核心设备厂商。
目前,凯世通产品已覆盖逻辑、存储、功率等多个应用领域方向,是国内首家集成电路离子注入机大束流和高能离子注入机获得验证验收的设备企业,拥有高能离子注入、超低温离子注入设备等核心关键机型。2022年至今,凯世通取得多家12英寸集成电路制造厂主流客户的离子注入机采购订单,累计设备订单超8.5亿元。目前凯世通研发的28nm工艺节点的低能大束流、低能大束流重金属离子注入机、低能大束流超低温离子注入机和高能离子注入机均顺利实现商业化,且持续领跑国产低能大束流和高能离子注入机系列产品的产业化。
作为万业企业战略布局的关键要素,凯世通通过现有产品与万业旗下嘉芯半导体前道设备板块实现叠加协同,助力万业打造“1+N”前道设备平台模式,推动集成电路设备制造国产化发展。