广东汇成真空 诚邀莅临
SNEC第十六届(2023)国际太阳能光伏与智慧能源(上海)大会暨展览会定于2023年5月24-26日在上海新国际博览中心举办。此次展会,广东汇成真空将展出应用于太阳能光伏电池及泛半导体的PVD连续式磁控溅射镀膜生产线和ALD原子层沉积设备,真诚期待您的莅临,共同交流最新真空应用技术。
观展指南
●展位号:E9-378
●时 间:2023年5月24日-26日
●地 点:上海新国际博览中心
展品抢先看
01
PVD连续式磁控溅射镀膜生产线
连续式真空镀膜生产线系统是HCVAC根据多年技术积累和市场发展需求开发的高生产效率量产型镀膜系统,该系统广泛应用于光伏、光学、新能源等领域的薄膜生产制备,具有立式、卧式、斜5-7度立式不同的设计;
该连续式镀膜生产线系统各模块可以灵活安置,以满足不同空间的产线布置要求。
特点:
●采⽤磁控溅射、蒸发、HiPIMS、PECVD等镀膜技术,实现不同技术灵活配置,满足不同工况下要求;
●选配⾃动化上下料系统,实现智能制造目标;
●旋转靶材技术替代平⾯靶,实现较⾼靶材利⽤率;
●完全⽆接触磁悬浮⼯件架传输系统,实现最⼩颗粒缺陷;
●线源共蒸镀技术保证大面积沉积均匀性;
●离子源技术实现薄膜性能提升;
●采⽤折返室设计理念将占地⾯积降到最低。
应用:
HJT、IBC、TOPCON、钙钛矿和其它高性能太阳能电池,包括减反射层、阻挡层、电接触层和绝缘层。
02
ALD原子层沉积设备
ALD相比于传统沉积技术,在制备超薄膜时具有更优异的均匀性和保形性,以及缺陷更少的优点。
采用ALD技术沉积电子传输层SnO2有效提高钙钛矿太阳能电池的效率。
03
泛半导体应用
公司介绍
⼴东汇成真空科技股份有限公司是⼀家服务全球的国家⾼新技术企业,专注于研发、⽣产和销售磁控溅射、真空蒸发、离子源辅助沉积、PECVD/ALD 等各类真空镀膜系统,为光伏、精密光学、泛半导体、新能源等领域提供设备及⼯艺解决⽅案。
HCVAC经过多年技术发展和知识积累,具备完整太阳能光伏真空镀膜系统的研发、制造及镀膜工艺开发能力,面对市场发展,HCVAC能及时满足客户需求。
广东汇成真空为您提供定制化真空应用解决方案
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