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环保管家 | 半导体行业环境管理要点及污染控制要求

   日期:2024-04-09 07:13:55     来源:网络整理    作者:本站编辑    浏览:7    评论:0    

1、 引言

《半导体行业污染物排放标准》(DB31/374-2006)自2007年发布实施后,对规范上海市半导体行业废水和废气处理处置起到了重要的作用。2024年2月29日,上海市生态环境局、上海市市场监督管理局发布了修订后的《半导体行业污染物排放标准》(DB31/374-2024)。本篇主要围绕新修订的标准、半导体行业涉及的主要环保手续,以及废水、废气的达标排放要求进行介绍。

2、 标准要求

《半导体行业污染物排放标准》(DB31/374-2024)自2024年5月1日起正式实施,新建企业自标准实施之日起执行,现有企业自2024年10月1日起执行。
标准中规定了半导体行业水污染物排放控制要求、大气污染物排放控制要求、污染物监测要求、达标判定要求、实施与监督等内容。标准适用于半导体行业现有企业水和大气污染物排放管理,以及新建企业环境影响评价、环境保护设施设计、竣工环境保护验收、排污许可证核发及其投产后的水和大气污染物排放管理。

3、 环保手续要求

标准适用于《国民经济行业分类》(GB/T 4754-2017)中C3972和C3973行业产品制造及封装测试。

根据《〈建设项目环境影响评价分类管理名录〉上海市实施细化规定(2021年版)》,行业类别属于电子器件制造397的“显示器件制造;集成电路制造;使用有机溶剂的;有酸洗的(以上均不含仅简单机加工的)”,应编制环境影响报告表
根据《固定污染源排污许可分类管理名录(2019年版)》,行业类别属于电子器件制造397的,“纳入重点排污单位名录的”应办理排污许可证(重点管理),“除重点管理以外的年使用10吨及以上溶剂型涂料(含稀释剂)的”应办理排污许可证(简化管理),“其他”应办理登记管理
此外,根据《上海市浦东新区固定污染源排污许可分类管理名录》(沪环规〔2023〕6号),行业类别属于电子器件制造397的,“除重点管理以外的年使用10 吨及以上有机溶剂的,有酸洗的”应办理排污许可证(简化管理)

4、水污染物排放控制要求

半导体行业水污染物排放应符合下表规定的要求。
污染源水污染物排放限值
单位为毫克每升(pH 除外)

5、大气污染物排放控制要求

1)有组织排放控制要求

半导体行业大气污染物排放应符合下表规定的要求。

污染源大气污染物排放限值

单位为毫克每立方米

2)无组织排放控制要求

◆ VOCs无组织排放应符合GB 37822的要求。

◆ 恶臭污染物无组织排放应符合DB31/ 1025的要求。
3)边界污染物监控要求
企业边界任何1h大气污染物监控浓度应符合下表规定的要求。

污染源大气污染物排放限值

单位为毫克每立方米

6、监测要求

◆ 企业应按照HJ 819、HJ 1253等规定,建立企业自行监测制度,制定自行监测方案,对污染物排放状况及其对周边环境质量的影响开展自行监测,保存原始监测记录,并按规定公开污染物自行监测信息。
◆ 企业应按照HJ 75、HJ 355、HJ 1286等规定,安装和使用废水和废气自动监控设备。
◆ 企业应在污染物处理设施的出口按照环境监测管理规定和技术规范的要求,设计、建设、维护永久性采样口、采样测试平台和排污口标志。

7、达标判定要求

◆ 采用手工监测时,按照监测规范要求获得的监测数据等于或者小于排放限值时为达标排放。

◆ 采用自动监测时,按照监测规范要求获得的水污染物有效日均值等于或者小于排放限值时为达标排放,大气污染物有效小时均值等于或者小于排放限值时为达标排放。

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供稿:徐   璟

审核:侯   玭

编辑:zhengyy

 
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