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光之基石!磷化铟--行业解析(附产业链&龙头)
2026-08-25 10:19
光之基石!磷化铟--行业解析(附产业链&龙头)
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磷化铟(InP)是高速光芯片的核心衬底,依靠超高电光转换效率完成光电互转,是800G/1.6T高端光芯片现阶段难以替代的底层基石材料。

今年以来,磷化铟价格显著上涨。上海有色网数据显示,4英寸磷化铟衬底8月10日均价达到6500元/片,较年初上涨约50%。

行业景气度持续抬升,也为产业链相关上市公司带来业绩改善机遇。

A股中布局磷化铟产业链的个股共有18只,其中12股已公布半年度报告或业绩预告,其中博杰股份株冶集团兴业银锡云南锗业同比增长均超100%。

路透社 6 月 19 日报道,中国海关正在加强对铟出口的审查力度,欧洲买家被要求披露终端用户信息及所在地,北美买家审批时间从当日办结延长至数天。金属铟尚未被正式列入出口管制清单,但实际审批节奏已经出现边际变化。

继2025 年磷化铟纳入出口管制、2026 年部分日本实体被列入出口管制名单后,本次审查进一步向金属铟原料端延伸,海外供应链对后续出口限制或禁令的担忧升温,全球铟供给体系面临新的不确定性。

从市场格局来看,全球91%的衬底产能集中在日本住友、美国AXT和日本JX三家手中。

而中国手握全球70%的原生铟产量和最大的光模块制造产能,却长期在衬底端不足10%的市占率中徘徊---这既是痛点,也是最大的国产替代空间。

今天我们来研究磷化铟。下文从:① 磷化铟--基础知识扫盲;② InP核心技术壁垒;③ 市场&竞争格局;④ 产业链;⑤ 相关龙头;等五个维度来解析。

一、磷化铟--基础知识扫盲
1、概念

磷化铟(Indium Phosphide,简称InP)是由III族元素铟(In)与V族元素磷(P)化合而成的III-V族化合物半导体材料,晶体结构为闪锌矿(Zinc Blende)类型,外观呈深灰色。

通常以高纯度单晶锭形式生长,再切割研磨成晶圆衬底,磷化铟衬底用于制作 FP、DFB、EML 边发射激光器芯片和 PIN、APD 探测器芯片,主要应用于电信、数据中心等中长距离传输。

它是继硅(Si)和砷化镓(GaAs)之后的新一代电子功能材料,在光电子和高频电子领域具有不可替代的战略地位。

2、特点&区别

(1)直接带隙半导体,电光转换效率高:硅为间接带隙难以发光;磷化铟是直接带隙半导体材料,电子与空穴复合时能直接辐射光子,电光转换效率极高,是制造高速激光器(如DFB、EML)和光电探测器(如APD、PIN)的理想基底,弥补了硅(间接带隙,发光效率极低)的缺陷。

(2)高电子迁移率,支持超高频调制电子迁移率极高(约5400 cm/V·s,为硅的10倍),可支撑100GHz 以上高频信号调制,适配 800G/1.6T/3.2T 高速光模块,满足 AI 算力集群长距光互联需求。

(3)耐高温与抗辐射特性:熔点高(约1062℃),导热性好,且抗辐射能力极强(抗中子与质子辐照能力达硅的10倍以上),在极端温度(-40℃至150℃)和强辐射环境下仍能保持稳定的电学与光学性能,适配航天卫星、军工红外探测等极端场景。

(4)高纯工艺壁垒极高,供给稀缺:单晶生长需要高温高压环境,对原料纯度(6N–7N)、晶体缺陷控制要求严苛;高端衬底长期海外寡头垄断,国产替代空间大。

(5)与硅、砷化镓区别

光芯片通常采用三五族化合物磷化铟(InP)和砷化镓(GaAs)作为芯片的衬底材料,其中:

砷化镓(GaAs)主打 850nm 短距 VCSEL芯片,适合高频、射频和部分短波长光电场景。

磷化铟垄断 1310/1550 高速长距有源光芯片,在长距离、高速光通信中的产业化基础更强,尤其在EML、CW 激光器、PIN/APD探测。

下图:Si、GaAs、InP属性对比

3、InP晶圆尺寸分类

InP晶圆尺寸越大,单片可切割芯片数量越多,单位成本越低。从3英寸升级到6英寸,单片芯片产出量提升约4倍,成本可降至3英寸工艺的60%-70%。但大尺寸化对晶体均匀性、缺陷密度控制和加工精度要求呈指数级提升。

尺寸
当前状态
市场占比
2英寸(50.8mm)
逐步萎缩,legacy产品
约20%
3英寸(76.2mm)
国内主流
约35%
4英寸(100mm)
国际主流,国内加速导入
约40%
6英寸(150mm)
国内刚突破试产,国际少量试产
约5%
8英寸(200mm)
研发阶段
-

4、发展历程

磷化铟最早由 A.Thiel 于 1910 年人工合成,但直到1958 年,梯度凝固法、区域熔炼法、水平布里奇曼法的采用才相继长出小尺寸磷化铟单晶。

直到 1968 年 Mullin 等人采用高压液封直拉法(LEC),首次成功的拉制出大尺寸磷化铟单晶材料。英寸的磷化铟衬底预计 2026-2027 年能大批量进入商业化应用。

5、生产与加工流程

磷化铟的制造可分为六大核心环节:高纯原料制备 → 多晶合成 → 单晶生长  晶圆加工制备衬底外延生长 芯片流片制造。全流程技术密集,任一环节的品质波动都将向下游传导。

(1)高纯原料制备

  • 高纯铟:需达到7N级(99.99999%)以上纯度,金属杂质控制在ppb(十亿分之一)级别。从锌矿副产铟出发,经过电解、真空蒸馏、区域熔炼等多段提纯工艺制得。
  • 高纯红磷:需6N至8N级超高纯度。黄磷经特定温度转化为红磷后,通过多级真空蒸馏、区域熔炼、精密提纯及超痕量杂质检测获得。高纯磷活性高、易氧化,制备难度显著高于普通磷化工产品。
(2)多晶合成

将7N级高纯铟和6N-7N级高纯红磷置于真空密封石英管(或PBN坩埚)中,在1000-1100°C高温、20-25atm高压条件下反应合成磷化铟多晶材料。InP在熔点(1062°C)时的离解压高达27.5atm,合成压力需接近该值以抑制磷的挥发。尾料回收可采用定向凝固工艺,将尾料与过量红磷置于石英管两端,控制温度梯度实现多晶料再生。

(3)单晶生长(核心工艺环节)

方法
原理
优势
劣势
LEC法
B₂O₃液封,高压N₂环境提拉
可生长大直径晶体
热应力大、位错高、成本高
VGF法
精确控制温度梯度定向凝固
位错密度低、应力小、良率高
生长周期长
VB法
垂直布里奇曼定向凝固
设备相对简单
生长不可见、应力大

当前VGF法是工业化生产高质量InP单晶的首选方法。生长过程中常进行掺杂(硫/硒→N型,锌→P型,铁→半绝缘型),以满足不同器件需求。生长轴为〈100〉方向,环境气体为约30bar氮气。

(4)晶圆加工,制备衬底(Substrate

单晶锭长成后,需经过多道精密加工工序:定向、切片、倒角、研磨、镜片抛光(CMP),产生磷化铟衬底晶圆。它是整个器件的"地基",决定了晶格常数和结晶质量。下图中浅色圆点示意晶体内部的原子排列。

下图:磷化铟衬底生产工序

(5)外延生长(衔接器件制造)

在衬底上方,蓝色系薄层代表外延生长的薄膜。从下到上依次是缓冲层(晶格过渡)、有源层(InGaAs,发光/探测的核心)、盖帽层(表面保护)。

在InP衬底上通过MOCVD(金属有机化学气相沉积)MBE(分子束外延)技术生长InGaAs、InGaAsP、InAlAs等多层异质结构薄膜,形成器件所需的能带结构。MOCVD以超纯气态源沉积,需配套尾气处理;MBE采用高纯固体源,通过蒸发分子束完成沉积,可提供原子级界面控制。外延层质量直接决定激光器、探测器等终端器件的性能、寿命与量产一致性。

(6) 芯片流片制造

外延片经过光刻、刻蚀形成台面(Mesa)结构,再沉积金属电极(灰色小块),沿解理面(虚线)切割后封装,最终制成激光器、探测器或调制器等器件。这是产业链末端附加值最高的环节。

二、InP核心技术壁垒

磷化铟行业的核心技术壁垒高度集中在制造环节,形成了"工艺+良率+客户认证"的三重综合性壁垒,新玩家难以快速突破。

1、壁垒一:磷蒸气压控制---长晶环节的"生死线"

InP在熔点温度下磷的离解压高达27.5atm,是GaAs的近4倍。这意味着晶体生长过程中磷极易挥发,导致化学计量比偏移、组分不均匀,进而产生位错、孪晶、堆垛层错等致命缺陷。

InP单晶的层错能极低,极易产生孪晶,使得大尺寸单晶制备异常困难。温度场、压力场和磷蒸气压三者需要极其精确的协同控制,任何微小波动都可能导致整炉晶体报废。

2、壁垒二:大尺寸化---温场控制的指数级难度

从3英寸升级到4英寸再到6英寸,晶锭直径增大导致温场均匀性控制难度呈指数级上升。大直径晶体在冷却过程中热应力分布更复杂,径向温度梯度难以消除,极易产生裂纹和位错增殖。

目前6英寸InP衬底全球良率整体低于10%,仅英国IQE少量试产,国内九峰山实验室2025年8月才实现6英寸外延工艺突破。

3、壁垒三:高纯原料瓶颈---产业链咽喉

衬底制造严重依赖7N级(99.9999%)以上的超高纯铟和6N-8N级超高纯红磷。高纯铟的提纯需经电解—真空蒸馏—区域熔炼多段工艺,海外成熟量产技术主要掌握在法国Dowa、美国Rasa等少数企业手中,国内高端7N级高纯铟进口依赖度约68%。高纯红磷同样需要多级真空蒸馏和精密提纯,任何微量杂质(ppb级)都可能在晶体中形成缺陷中心。

4、壁垒四:晶圆精密加工---毫米级精度的极限挑战

InP晶体硬度低、脆性大、易解理,加工过程极易产生崩边、裂纹和亚表面损伤。研磨和抛光需要在去除损伤层的同时不引入新的应力,TTV需控制在10μm以内,翘曲度小于15μm,表面粗糙度达到亚纳米级。这需要匹配半导体级洁净生产环境与精密专用设备,know-how积累周期长。

5、壁垒五:客户认证周期---1-2年的信任成本

下游光芯片厂商(如中际旭创)对衬底供应商实行严格的认证制度,从送样测试到批量供货通常需要1-2年。认证一旦通过,客户黏性极强,切换成本高昂,形成了天然的竞争护城河。

三、市场&竞争格局

1、全球市场

当前AI数据中心发展如火如荼,这意味着每个服务器机架需要数百个光模块,每次部署需要数千个机架,每个超大规模数据中心都需要数百万个磷化激光器组件。

根据LightCounting的数据,InP衬底光芯片为市场中最大的细分领域,2025年占总市场的58%,到2031年仍将占据46%(约69亿美元)。

另外,Yole 预测数据,2026 年全球磷化铟衬底(折合二英寸)预计销量为 128 万片,2019-2026 年复合增长率为 14.4%;2026 年全球磷化铟衬底市场规模为 2 亿美元,2019-2026 年复合增长率为 12.4%。

2、竞争格局

磷化铟衬底材料市场头部企业集中度很高,海外企业占据主导地位。Yole 数据显示,2020 年全球前三大厂商占据磷化铟衬底市场 90%以上市场份额,其中 Sumitomo为全球第一大厂商,占比为 42%;北京通美位居第二,占比 36%,日本 JX 排名第三,占比为 13%。

磷化铟单晶批量生长的技术主要包括高压液封直拉法(LEC)、垂直温度梯度凝固法(VGF)和垂直布里奇曼法(VB)。北京通美和 Sumitomo 分别使用VGF 和 VB 技术可以生长出直径 6 英寸磷化铟单晶,日本 JX 使用 LEC 技术可以生长出直径 4 英寸的磷化铟单晶。

3、中国的结构性矛盾

中国是全球最大的原生铟生产国(占全球70%),也是InP材料的最大消费国(占全球约三分之一),但InP衬底的量产能力严重滞后---全球前三的住友、AXT、JX合计垄断91%份额,国内企业合计不足10%。资源端优势与制造端短板形成鲜明反差,这正是国产替代的核心逻辑。

四、产业链

磷化铟产业链上游为原材料,主要包括金属铟、磷及相关高纯化合物材料;

中游为衬底/外延,包括InP单晶生长、晶圆切磨抛、衬底加工、外延生长;

下游为光芯片,主要对应激光器/调制器、探测器、InP 、PIC等应用场景。

1、上游:原材料与装备
(1)高纯铟:7N级以上提纯难度
铟是一种银白色金属,略带蓝色色调,其质地非常柔软,轻轻按压就能留下痕迹。铟的熔点为156.61°C,沸点为2080°C,密度为7.3g/cm。由于其优异的延展性、导电性和可塑性,低电阻和强耐腐蚀性,铟金属很容易被压制成薄片或切割成块,成为一种极其重要的半导体材料。

金属铟常被描述为一种战略金属,因为其全球储量有限。世界上已知的大部分铟资源集中在少数几个国家,包括中国、秘鲁、美国、加拿大和俄罗斯。但其中只有大约一半被认为具有经济开采价值。

全球铟资源估计约为6万吨,全球原生铟精炼总产量约为1100公吨,中国占七成左右,是全球最大的原生铟精炼生产国,预计2025年产量约为760公吨。其次是韩国约180公吨,日本约65公吨。

下图:2025年全球铟产量国家排名(单位:公吨)

另外,金属铟提取难度大且成本高。许多国家仍然缺乏先进的提取和提纯技术,作为光通信半导体材料,铟基化合物半导体须具备高电子迁移率,以用于高频高功率电子器件,因此铟的纯度必须高于7N级,也就是说纯度超过99.99999%(7N+),难度可谓是地狱级。

(2)高纯红磷

高纯红磷是非常重要的半导体基础材料。磷化铟生产需要 6N、7N、8N 级及以上高纯红磷单体原料,它是合成磷化物半导体的主要材料之一,可用于合成磷化铟等半导体材料,也可用作 IC 掺杂的固态磷源,广泛应用于集成电路、太阳能电池、晶体硅、半导体、TFT-LCD、光纤预制棒和光化学等领域。

全球 6N/7N 半导体级红磷供应高度集中,核心供应商主要是日本和德国等少数企业。虽然我国的黄磷、磷矿资源和基础磷化工体系完整,但 7N 级以上高纯红磷长期依赖进口,能够稳定供应 6N/7N高纯红磷的厂商具备显著战略价值。

(3)核心装备

核心设备包括:高压单晶炉、PBN坩埚、MOCVD/MBE设备,技术要求是高温高压环境控制、原子级精度等。

2、中游:衬底&外延制造

(1)衬底市场份额更小,但其技术壁垒和市场集中度远高于外延。衬底制造是从0到1的结晶过程,核心难点在于:

① 核心瓶颈在上游,衬底制造严重依赖6N级(99.9999%)以上的超高纯铟;

② 长晶工艺极难,InP单晶生长需在高温高压下进行极端环境控制,且扩产周期较长,设备交期和良率爬坡极慢;

③ 高度寡头垄断,当前,日本住友、AXT(北京通美)、日本JX三家占据了全球91%的市场份额。

(2)外延是在衬底上生长薄膜,其较衬底而言,市场集中度更低、市场份额更高主要归因于:

① 衬底产能极度受限,虽然严重的供不应求推高了其单价,但由于总销售额反而受限;

② 设备可采购降低准入门槛,虽然MOCVD设备昂贵,但设备可以买到,而InP长晶炉需要高度定制,核心热场设计属于各厂商核心机密,因此外延厂商数量远多于衬底厂商;

③外延覆盖更广,除光通信外还包括VCSEL(3D传感)、Micro-LED、功率器件、射频PA等,每个领域都需要定制化外延结构 ;

④ 商业模式差异,衬底厂商卖的是标准化材料,而外延厂商卖的是定制化服务,后者可以根据客户需求灵活调整外延层结构(组分、厚度、掺杂),服务属性强,客户粘性和定价权更高。

3、下游:光芯片等应用

磷化铟下游环节主要包括光芯片、激光器/调制器/探测器/PIC、航天航空等应用,即在衬底和外延片基础上,通过光刻、刻蚀、金属化、钝化、解理、镀膜、测试等工艺,加工形成EML、CW、VCSEL激光器/调制器,PIN/APD探测器以及InPPIC垂直整合。

下游核心在于实现外延结构、器件设计和品圆制造工艺之间的匹配。对于激光器而言,阈值电流、输出功率、调制带宽、波长稳定性和可靠性均会受到外延均匀性、波导结构、腔面处理和散热设计影响。

对于探测器而言,响应度、暗电流、带宽和击穿电压等指标也高度依赖材料缺陷控制和器件结构设计。

从器件结构看,AI数据中心光互连正在从传统可插拔光模块方案,逐步向硅光、CPO及外置光源等更高集成度方案延伸。

光模块速率提升会带动单模块内激光器、调制器和探测器性能升级; 主动光器件升级进一步提高对外延片均匀性、衬底低缺陷和晶圆尺寸的要求; 当800G/1.6T光模块进入规模化部署后,产业链瓶颈容易从终端封装转向中游高质量InP衬底、外延和光电芯片产能。

五、相关龙头
以下是不完全列举:

(1)磷化铟企业

① 云南锗业:锗行业龙头,布局磷化铟生产线,国内唯一实现2-6英寸磷化铟衬底规模化量产的企业,国内商用衬底市占率约80%。
② 博杰股份:国内工业自动化测试设备的龙头,国内唯一深度适配国产磷化铟全尺寸检测的厂商,为国内稀缺的4英寸InP衬底厂商独家设备,检测设备覆盖800G/1.6T光模块。
③ 三安光电:公司磷化铟(InP)外延生长、芯片制造及封测工艺国内领先;磷化铟(InP)光芯片全产业链龙头,国内唯一实现6英寸磷化铟外延片量产,100G/400G/800G高速光芯片实现批量出货。
④ 先导科技:在铟、镓、锗、硒、碲、铋等稀散金属领域市占率均居全球第一(如铟市占率约60%;可提供使用 VGF 法生长 2-6 英寸磷化铟(InP)衬底,包括半绝缘 InP 衬底(掺 Fe)和半导体 InP 衬底(掺 Si 或掺 Zn),以及用于特定用途的低位错InP 衬底。
⑤ 铭镓半导体:国内最大、技术最领先的磷化铟多晶供应商,2026年二期项目达产后,磷化铟多晶年产能将达近30吨,可满足国内近50%的磷化铟原料需求,有效填补国内产能缺口。
⑥ 陕西铟杰:国内唯一实现多晶磷化铟批量生产的本土企业,成功打破了国外技术封锁,改变了国内磷化铟多晶材料90%依赖进口的局面。
⑦ 兴发集团:拥有丰富的磷矿资源储备(储量约3.95亿吨),磷矿石自给率高,具备“矿电化一体”的产业链优势,是磷化工行业的资源压舱石。已掌握磷化铟合成技术磷化铟原材料电子级红磷小试验证进展顺利。
(2)高纯铟企业
① 锡业股份:全球原生铟储量与产能双龙头,控股华联锌铟为全球最大原生铟生产基地。可量产 6N、7N 级高纯铟,资源自给率100%,为磷化铟产业链核心原料主力供应商。
② 株冶集团:全球铟产量龙头,以锌冶炼副产回收铟为主。铟回收率 98%以上,成本行业最低,供应 5N、6N 级高纯铟,是国内铟原料稳定供给的核心力量。
③ 有研新材:7N 级高纯铟产能全球第一,占国内 35%市场份额,同时布局磷化铟衬底业务,4 英寸衬底量产、6 英寸衬底中试,实现“铟提纯-磷化铟衬底”垂直整合,为国内光芯片企业自主供料。
④ 锌业股份:亚洲最大半导体用铟供应商,铟年产能约60t,可量产 6N、7N级超高纯铟,技术领先,产品定向供应半导体、光电子领域,在 ITO 靶材领域全球市场占有率超 30%。
⑤ 豫光金铅:依托铅锌冶炼副产回收,实现 7N 级超高纯铟小批量量产,与河南本地磷化铟厂商铭镓半导体深度合作,原料直供中游衬底厂商,为区域磷化铟产能核心配套企业。
⑥ 盛和资源:稀散金属综合回收龙头,具备高纯铟制备能力,产品纯度达半导体级,适配磷化铟原料需求,为国内铟供给重要补充。
(3)高纯红磷企业
① 兴发集团/兴福电子:兴发集团专注于精细磷化工发展主线,积极探索磷、硅、硫、盐、氟融合发展。技术6N-7N纯度,在行业内首创开展电子级磷烷催化分解制备电子级高纯红磷的研究,经过小试已成功将磷烷分解效率提高至 95%以上。
② 威顿晶磷(未上市):电子级低硫红磷凭借高纯低硫、粒径均一性控制技术成为国内华为控股公司云南鑫耀核心供应商,并出口德国。
③ 拓材科技(未上市):国内首家实现7N级高纯红磷规模化量产的企业,年产 30 吨 7N 级高纯红磷规模化量产线正式落地。
④ 澄星股份:核心优势主要集中在黄磷、热法磷酸及精细磷酸盐的细分领域。公司黄磷产能规模领先(约16万吨/年),是国内黄磷领域的核心龙头之一。

楚雄川至电子材料(未上市):公司高纯红磷、高纯铟、高纯镓等产品达到国际水平,在国内光伏企业市场占有率超过35%,客户覆盖率超过90%,是云南省重点培育的电子化学品龙头企业。


来源|Aiden硬科技

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