洁净室就是一个超级干净、恒温、恒湿、气压可控的“人造无菌房间”。

普通空气里到处是灰尘，而芯片制程已经到3nm、2nm，一粒小灰尘掉在晶圆上，整片芯片直接报废。

所以芯片制造必须在洁净室里做，尤其是光刻、刻蚀这些关键工序。

二、ISO3 级是什么概念？

洁净室分等级：数字越小越干净（ISO1 最顶级，ISO9 最普通）。

ISO3 级：每立方米空气里，≥0.5 微米的灰尘不能超过352 颗。

属于半导体最高标准之一，先进制程（7nm 及以下）、12 英寸晶圆厂、先进封装必须用这个级别。

三、上下产业链有哪些环节

1）上游：卖设备、材料（给洁净室装 “肺” 和 “皮肤”）

空气过滤设备：FFU（风机过滤单元）、ULPA/HEPA 超高效过滤器，负责把空气滤到几乎无尘。

高纯管道/ 阀门：输送超纯水、特种气体，不能有一丝杂质污染。

洁净板材/ 地坪：墙面、地面无缝、防静电、不积灰。

监测设备：测灰尘、温湿度、压力、振动，相当于洁净室的“眼睛”。

2）中游：工程公司（总包设计 + 施工，搭 “无尘手术室”）

从画图设计→买设备→装修施工→调试达标，全包服务。

半导体厂投资里，洁净室工程占10%–18%，是晶圆厂建设的关键部分。

技术难点：恒温（±0.5℃）、恒湿、微振动控制、分子污染（AMC）控制。

3）下游：芯片厂、封测厂（最终使用者）

中芯国际、长江存储、长鑫存储、台积电等，建厂必建ISO3 洁净室。

四、相关企业业务

（一）中游：洁净室工程总包（EPC）

亚翔集成：做半导体洁净室总包，能做ISO1 级，服务中芯国际、长江存储、合肥长鑫、三星等。

圣晖集成：做半导体、精密制造洁净室，掌握AMC 控制、微振动处理技术。

柏诚股份：做半导体、显示行业洁净室全流程服务，客户包括台积电、京东方、SK 海力士。

太极实业（十一科技）：半导体工程设计+ 总包，服务台积电、SK 海力士、国内存储厂。

中电二/ 中电四（深桑达A）：央企背景，做大型半导体洁净室项目。

（二）上游：空气净化设备

美埃科技：FFU、超高效过滤器，国内半导体 FFU 市占率约 30%，适配 ISO3 级。

江苏苏净（创元科技）：高效/ 超高效过滤器、FFU、洁净工作台。

再升科技：过滤材料，做ULPA 滤网核心滤材。

（三）上游：高纯工艺系统（水、气、化学品输送）

至纯科技：高纯水处理、特气管道、化学品输送系统，配套光刻机洁净室。

新莱应材：高纯不锈钢管道、阀门、接头，通过半导体认证。

（四）上游：厂务配套（废气、温控、真空）

盛剑科技：半导体废气治理、精密温控、高真空系统，做AMC 分子污染治理。

英维克：精密温控设备，用于洁净室温度控制。

（五）上游：环境监测

久远银海：粒子计数器、温湿度/ 压差监测、微振动监测、AMC 在线监测。

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