雪崩鲁棒性是SiC功率MOSFET的另一个可靠性话题,不能忽视。恶劣工况下的雪崩事件可能导致器件退化甚至彻底损坏。因此,摸清器件的极限、确保客户应用中的安全运行,至关重要。
电路中的杂散电感(或称为寄生电感)是SiC功率MOSFET进入雪崩模式的"罪魁祸首"。杂散电感引发电压过冲,一旦过压超过器件击穿电压,雪崩就发生了。此时,MOSFET导通期间电感里存储的能量,在关断瞬间"倾泻"到器件身上。这个能量可以用以下公式算:

式中:L是电感,Imax是器件开始关断时的电流,Vbr(eff)是器件的有效击穿电压,VDD是电源电压。
解读:
电感里存了LI2/2的能量,关断时没地方去,只能硬冲器件。如果电源还连着,击穿电压得先"垫"掉VDD,剩下部分才用来消化能量,所以实际能量比LI2/2大。器件能不能扛住,就看它能在击穿电压下撑多久 (tav),把Eav耗散掉而不烧毁。

修正因子 Vbr(eff) / (Vbr(eff) - VDD) 的物理意义:
有VDD连接时:电感电流下降速度 = (Vbr(eff) - VDD) / L,实际雪崩电压只有"超出VDD的部分"在起作用,能量释放变慢,总能量增加;
无VDD连接时(VDD断开):电感电流下降速度 = Vbr(eff) / L,全部击穿电压用于释放能量,能量释放快,总能量 = LI2/2(经典电感储能公式)
修正因子 = 考虑VDD"分担"了部分电压,电感能量不能全部释放到器件上,需要额外时间/能量才能完全耗散。
SiC功率MOSFET 必须在指定的雪崩时间tav内把这些能量耗散掉,对应的雪崩能量Eav由下式表达:

Eav表示器件在雪崩期间实际耗散的总能量。
解读:电感电流下降速度 = V / L 的物理原理。
电感的基本特性:

变形得到电流变化率:

电感两端电压 = Vbr(eff)(因为器件击穿后钳位在这个电压),所以:

电流下降速度 = 击穿电压 / 电感值

电流从Imax = 100A降到0,需要时间 = 100A / 120A/μs ≈ 0.83μs
这就是雪崩持续时间tav的量级。
为什么VDD会影响:
有VDD连接时,电感两端实际电压 = Vbr(eff) - VDD = 1200V - 800V = 400V,di/dt = 400V / 10μH = 40A/μs (比无VDD时慢3倍!),VDD"垫"掉了部分电压,电感电流下降变慢,雪崩时间拉长,器件承受的总能量增加。
电感电流下降速度 = 电感两端实际电压 / 电感值。雪崩时,器件击穿电压就是"刹车力度",电压越高、电感越小,电流掉得越快,器件越早解脱。
SiC功率MOSFET的雪崩特性用业界标准方法,即非钳位感性开关 (UIS),按JEDEC标准JESD24-5进行测试。
单脉冲雪崩鲁棒性与失效模式
单脉冲雪崩测试是通过逐步加大电流脉冲,直到器件失效为止。测试器件采用相同技术,但pn结雪崩面积(记为Adiode)不同,且各自的最大雪崩击穿电压也不同。
图34展示了SiC沟槽功率MOSFET的"最后有效雪崩能量密度"。说明一下:Iav是器件开始关断时的雪崩电流,Eav是器件失效前最后一次成功承受的雪崩能量。
图34以击穿电压1650V的SiC沟槽MOSFET为例,起始温度Tstart均为298K,但使用了不同电感值。一个关键发现:雪崩电流越低,器件能扛的雪崩能量反而越高,原因在于低电流下雪崩持续时间更长,也就是说同样的能量,器件有更长时间慢慢"消化",所以还没达到破坏极限,能承受更多的雪崩能量。
图34(a)的另一重要结论:雪崩能量可按SiC 沟槽式功率MOSFET 的Adiode进行缩放。按4A/mm2的电流密度折算,雪崩击穿电压为1650V器件的最大雪崩能量密度是可比的。因此,同技术器件的雪崩能力应以能量密度(而非绝对能量)来衡量。
此外,图34(b)显示,起始温度越高,SiC沟槽MOSFET的雪崩能力越差。

Adiode:
Adiode = pn结的实际面积 = 电流流过的、参与雪崩的有效区域。
不同芯片尺寸的Adiode不同,所以绝对雪崩能量也不同,pn结雪崩面积表明了雪崩发生的"战场"大小。
最后有效雪崩能量密度:例如下列测试过程
电流脉冲1:E = 50 mJ(器件存活)
电流脉冲2:E = 80 mJ(器件存活)
电流脉冲3:E = 100 mJ(器件存活)
电流脉冲4:E = 120 mJ(器件失效)
"最后有效" = 100 mJ(脉冲3)
不是平均值,不是最大值,是失效前最后一次成功的。
如果需要耗散更高的雪崩能量,可以选用雪崩击穿电压更高的SiC沟槽MOSFET。器件承受更高雪崩能量的能力,随漂移区厚度增加而提升,因为雪崩产生的热量可以在更大的体积内"摊开"散热。
图35展示了这一规律:相同技术、不同A_diode面积、三种雪崩击穿电压(850V、1650V、4850V)的SiC沟槽功率MOSFET对比。以雪崩时间tav=50μs为参考点,漂移区越厚,能扛的雪崩能量明显越高。同样,如果雪崩时间足够长,器件也能耗散更多能量。

对于SiC 沟槽式功率MOSFET,温度驱动型失效是主要的失效机制,而非电流驱动型失效。当结温超过临界值时,温度驱动型失效可能导致栅极氧化层退化或破坏,或导致正面金属层熔化。
为了更好地理解失效机制,图36a/b分别展示了雪崩击穿电压Vbr为1650V的SiC沟槽MOSFET在失效前和失效时的波形。

如图36a所示,器件在雪崩期间仍能关断雪崩电流IDS,并以1650V完全阻断。但下一个更大的电流脉冲使得器件在雪崩时间约2/3处被摧毁(图36b)。该失效时间点接近整个雪崩事件的末端,这与闩锁失效机制形成鲜明对比:闩锁是电流驱动型失效,预期发生在雪崩事件起始阶段(临界电流最大时)。
图37展示了雪崩击穿电压Vbr为1650V的SiC沟槽MOSFET的典型失效图像。虽然图37a中的失效点靠近栅极焊盘,图37b则在键合线下方,但两种情况下失效点均位于器件有源区内。

雪崩期间,SiC沟槽MOSFET的结温会显著升高,最终导致雪崩失效。为验证这一点,研究人员对采用相同技术、不同漂移区厚度的器件做了对比研究(漂移区厚度不同,雪崩时的击穿电压也不同)。图38基于Cauer一维热网络模型,计算了"最后有效脉冲"(即失效前最后一次成功脉冲)条件下的结温。

关键发现:尽管漂移区厚度不同,但所有器件的最高结温都达到了约1250K,这说明这些器件已达到其最高临界温度,并且表明了SiC沟槽MOSFET的雪崩失效确实由温度驱动,一旦达到临界温度,器件就坏了。
如果失效由电流密度触发:
不同Vbr器件,雪崩电流不同
电流密度达到临界值时失效
失效温度应随Vbr变化(因为功耗 = I×V 不同)
但是实际上失效温度均为1250K:
与电流、电压、功耗无关
只与温度有关
温度是失效的充分必要条件
从第二代产品开始,英飞凌的分立SiC沟槽MOSFET均在单脉冲雪崩条件下进行了完整测试。具体雪崩额定参数可在对应数据手册中查阅。
重复雪崩应力
单次雪崩能扛住,不代表多次就没事,重复雪崩事件同样可能导致SiC沟槽MOSFET退化或损坏。因此,需要在重复雪崩脉冲前后监测关键参数:RON、VTH、Vbr、IDS和IGS。
图39展示了Vbr=1650V的SiC沟槽MOSFET在重复雪崩脉冲前后的部分参数,测试基于10个样品,起始温度Tstart=298K,电感L=4.9mH,从而得到的雪崩电流Iav=7.1A,雪崩时间tav=23.3μs,雪崩能量Eav=0.6mJ (0.24mJ/mm2)。
结果:上述条件下,甚至条件更严苛时,SiC沟槽MOSFET均未出现退化。 但如果在超出规格书的更恶劣条件下运行,仍可能导致退化。

单脉冲雪崩:流程如下,
1. 设定电感L、起始电流I
2. 施加1个脉冲,器件关断进入雪崩
3. 测量是否失效
4. 若未失效,增大电流,重复步骤1-3
5. 直到器件损坏,记录"最后有效脉冲"能量
重复脉冲雪崩:流程如下,
1. 选定条件:L=4.9mH, Iav=7.1A, tav=23.3μs, Eav=0.6mJ
(远低于单脉冲极限,确保单次不损坏)
2. 施加N次脉冲(如20000次)
3. 每k次或全部结束后,测量参数:RON, VTH, Vbr, IDS, IGS
4. 对比脉冲前后参数变化
来源:宽禁带半导体观察
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