访谈嘉宾： 半导体芯片领域技术专家

整理人： 普华技术产业化研究院、智谱特邀分析师

核心摘要

半导体化学过滤器按照应用方向可分为气体过滤、液体过滤以及超纯水配套过滤三大类。气体类产品以 FFU 与 AMC 为代表，FFU 主要用于洁净室空气净化场景，AMC 则用于分子级气态杂质处理；液体类产品多用于超纯水、CMP、光刻胶等工艺流程。折叠滤芯是行业常用结构，过滤效率更高，但容易形成污染死角；FFU、ULPA 都属于空气过滤器，液体过滤器则多以应用场景进行区分命名。

过滤耗材主要包括膜材料与壳体材料两大类，膜材以 PTFE、PP 为主，壳体以 PFA、PP 等为主，与普通工业过滤器存在明显差异。PTFE 化学稳定性好、析出量极低，是半导体领域的主流选择，但高端产品仍依赖进口且成本偏高；PP 材料更多用于液体过滤环节。不同工艺节点对过滤精度要求不同，14–28nm 制程可采用 PP 级材料，7nm 及以下先进制程需要 PPT 级标准，主要使用 PTFE 与聚偏氟乙烯。

国内半导体过滤器市场规模约 30–40 亿元，全球市场规模超过 200 亿元，其中液体过滤占比最高。国内 AMC 市场规模约 10 亿元，高端市场约 80% 由欧美企业占据。国内企业以美爱科技、科百特为代表，可覆盖 14nm 左右的中低端制程，两家合计年销售额约 2–3 亿元。AMC 产品单价差距较大，晶圆厂滤芯更换周期为 6–12 个月，在整体耗材中占比约 0.5%–1%。

地缘政治因素加速了国内供应链的自主替代，美国相关政策对高端产品进口形成限制。海外企业的核心优势在于材料研发基础，国内企业则面临材料合成、量产工艺等方面的壁垒。过滤器的核心评价指标包括结晶度、过滤效率等，上游高端膜材与壳体材料仍大量依赖进口，行业最核心的竞争力来自材料研发能力。

访谈记录

Q：目前半导体化学过滤器的种类比较多，比如 FFU、ULPA、AMC 这些产品，想请您介绍一下不同产品类型对应的不同应用场景。

A：半导体领域使用的化学过滤器，主要可分为气体过滤、液体过滤以及超纯水与化学品输送净化三大类。FFU 多用于洁净室、工艺气体净化与深度过滤场景；AMC 属于分子级气体滤芯，主要用于过滤酸碱气体、VOC、微生物等污染物。

Q：液体类的过滤器都有哪些产品？

A：液体类过滤器主要应用在超纯水、CMP、光刻胶等相关工艺环节中。

Q：行业内主要选用聚四氟乙烯（PTFE）做滤芯材料，而不是聚氨酯或者活性炭呢？

A：活性炭与聚氨酯稳定性较差，使用过程中容易产生析出物和颗粒，会造成污染；PTFE 化学惰性优异，析出量极低，高纯度产品基本可实现零析出，因此更适合半导体洁净生产环境。高端 PTFE 基本依赖进口，成本也明显更高。

Q：高端的 PTFE 材料成本比较高，还有一些相对便宜的材料，是不是洁净室里不同的工艺环节，可以选用不同的滤材？

A：是的，可以根据工序要求进行分级选用。光刻、清洗、刻蚀等直接接触晶圆的工序要求更高；前段清洗、研磨等环节要求相对更低。要求较低的环节在 AMC 市场中占比约 30%–40%。

Q：不同的制程对应的过滤精度指标有什么区别？

A：14–28nm 制程一般使用 PP 级别滤材即可满足需求；7nm 及以下先进制程需要达到 PPT 级别，主要采用 PTFE 和聚偏氟乙烯，基本不使用活性炭等材料。

Q：除了洁净室里面，很多机台设备也可能需要用到这种过滤器，这些机台设备对过滤器的要求是怎样的？常用的过滤器种类有哪些，对应的市场规模能占多少？

A：机台设备内部的过滤器同样属于核心滤芯范畴，刻蚀、光刻、清洗类设备对过滤精度要求更高。国内 AMC 市场规模约 10 亿元，机台端与洁净室滤芯共同构成气体过滤的主要市场。

Q：评价一下美爱科技的产品覆盖范围和市场表现。

A：美爱科技从工业过滤领域起步，目前在气体及 AMC 过滤领域处于国内较领先位置，半导体业务主要覆盖中低端制程，高端先进制程暂未实现突破，其收入还包括生物医药等其他领域。

Q：科百特的产品类型主要覆盖哪些领域？

A：科百特以液体过滤为核心优势，气体过滤布局弱于美爱科技，液体过滤主要采用 PTFE 膜材，目前也在向高端半导体膜材方向布局。

Q：至纯科技后续会不会涉足过滤器相关业务？有没有做过滤器相关业务？

A：至纯科技主营场务系统与超纯设备，目前布局了特气相关业务，未来存在向过滤耗材延伸的可能，但目前尚未形成明确的过滤器产品线。

Q：国内 AMC 市场规模也就十个亿左右，欧美企业占了百分之七八十，国内厂家在半导体过滤材料领域的年销售额大概也就两三个亿，对吗？

A：是的，国内企业整体规模有限，美爱科技与科百特占据大部分份额，产品主要覆盖 14nm 左右制程。

Q：海外的高端过滤器厂家，您方便介绍一下吗？比如能给光刻机供货的厂家。

A：液体过滤代表企业有美国 PALL、Integrate；气体过滤以康菲尔为代表；日本 DT 主攻高端，基本不对中国供货。此外还有杜邦、英国 Popovic 等国际头部企业。

Q：AMC 类产品中，高端和低端产品的销售单价大概是多少？

A：高低端产品价差明显，低端 AMC 滤芯单价约一两千元，高端产品单价可达几万至十几万元。晶圆厂更换周期为 6–12 个月，AMC 在整体耗材中占比约 0.5%–1%。

Q：从地缘政治和供应链安全角度，国内晶圆厂对化学过滤器的国产化替代需求出现哪些变化？带来哪些机遇和挑战？

A：美国出口管制持续收紧，高端过滤器进口难度加大，倒逼国内晶圆厂加快国产验证，为国内企业带来替代机会。但国内企业在材料合成、量产一致性、高端认证等方面仍存在明显短板。

Q：海外高端过滤器厂家的核心技术和优势在哪里？国内厂商发展高端化学过滤器的难点又在哪里？

A：海外企业优势在于材料基础研究、分子结构设计与长期工艺积累；国内企业主要受制于材料纯度、结晶度、量产稳定性不足，整体仍处于追赶阶段。

Q：半导体化学过滤器的主要技术考核指标有哪些？

A：核心指标包括结晶度、过滤效率、过滤完整性，要求不出现反向渗透与二次污染，以保证洁净室环境与晶圆良率。

Q：AMC 的国内市场规模大概十个亿，液体过滤器和空气过滤器的整体市场规模是怎样的？未来液体过滤器的市场会越来越大吗？

A：全球市场超 200 亿元，国内约 30–40 亿元；气体过滤占比 20%–25%，液体过滤占比 60%–70%，液体过滤未来将保持稳健增长。

Q：上游核心原料除膜材外，还有哪些比较依赖进口？

A：高端膜材基材、壳体材料、密封材料等中高端部件国产化率偏低，80%–90% 依靠进口，材料自主化是行业突破的关键。

Q：半导体化学过滤器核心还是要看团队的材料研发能力，对吗？

A：是的，材料研发能力是行业最核心的竞争力。

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