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先进制程材料突破:3nm及以下制程用EUV光刻胶、超高纯度电子特气需求爆发 Chiplet封装材料:中介层(Interposer)、RDL材料、底部填充材料需求增长 第三代半导体材料:SiC、GaN晶圆加工用材料需求快速增长 国产化加速:硅片、光刻胶、靶材等关键材料自给率向50%迈进 AI驱动需求:HBM存储用前驱体材料、封装基板材料需求激增
先进光刻技术:EUV光刻原理、光刻胶分子设计
原子层沉积(ALD)材料:薄膜沉积均匀性控制
高纯材料分析检测:ppb/ppt级杂质检测能力
工艺-材料协同设计:芯片工艺需求与材料开发深度融合
AI辅助材料研发:机器学习加速配方筛选、工艺优化
封装技术融合:Chiplet、2.5D/3D封装材料知识
新增课程:《半导体材料工程》、《电子化学品制备技术》、《高纯材料分析技术》 强化课程:材料科学基础(增加半导体材料章节)、材料分析方法(增加电子材料表征) 特色课程:《半导体材料国产化实践》、《EUV光刻材料前沿》 跨学科课程:《芯片制造与材料协同》、《AI+新材料研发》
建设半导体级超净实验室(千级/百级洁净度),配置CMP抛光实验设备
与沪硅产业、南大光电、江丰电子等企业共建实习基地
开设半导体材料分析检测实训(ICP-MS、XRF、SEM等)
组织学生参与半导体材料国产替代课题研究
建设"材料-工艺-器件"一体化综合实验平台
与化学学院合作开设《电子化学品合成》实验课程
与光电学院合作开设《光刻技术基础》课程
与集成电路学院合作开设《半导体材料与器件设计》课程
鼓励材料专业学生修读半导体物理、微电子工艺等课程
建设"材料+微电子"双学位培养项目