真空共晶是一种常用的电子组件封装工艺，通过在真空环境下融化和混合不同金属的共晶材料，实现电子元器件的可靠封装和保护。以下是真空共晶的工艺规程：

一、设备准备：

1. 准备真空共晶炉、真空泵、真空计等设备。

2. 清洁工作台，确保无尘无杂质。

二、材料准备：

1. 准备共晶材料，包括金属合金粉末或块材。

2. 准备封装基板，包括金属基片或陶瓷基片。

三、工艺流程：

1. 将封装基板放置在真空共晶炉的加热台上。

2. 打开真空泵，将炉腔抽空至所需真空度。

3. 将共晶材料放置在封装基板上。

4. 关闭真空泵，开始加热。

5. 根据共晶材料的熔点和处理温度，控制加热速率和加热时间。

6. 当共晶材料完全熔化后，保持一定时间，使其混合均匀。

7. 关闭加热源，开始冷却。

8. 等待共晶材料完全凝固和冷却至室温。

9. 打开真空泵，将炉腔重新抽空至大气压。

10. 取出封装基板，进行后续的封装和测试工艺。

四、工艺参数：

1. 真空度：通常要求达到10^-5 Pa以下。

2. 加热温度：根据共晶材料的熔点来确定，通常在1000°C以上。

3. 加热时间：根据共晶材料的熔点和混合要求来确定，通常在10-30分钟之间。

4. 冷却时间：根据共晶材料的凝固和冷却特性来确定，通常在30-60分钟之间。

五、注意事项：

1. 操作时要注意安全，避免烫伤和其他伤害。

2. 操作过程中要保持封装基板和共晶材料的干净。

3. 控制加热速率和时间，避免过热和过长时间的加热。

4. 冷却时要避免突然冷却和剧烈温度变化。

六、工艺评估：

1. 检查共晶材料的熔化和混合情况，确保封装质量。

2. 测试封装的电性能和可靠性，确保符合要求。

以上是真空共晶的工艺规程，通过合理的操作和控制，可以实现电子元器件的高质量封装和保护。

来源于集成电路与微系统封装，作者岳小柒

赵工

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