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泵阀轴承
一文讲清半导体炉管机台
2025-11-03 22:42
一文讲清半导体炉管机台
炉管机台是半导体制造中的关键设备，用于高温热加工，如氧化、扩散、CVD等。根据工艺用途、压力和结构，分为氧化炉、扩散炉、LPCVD炉、退火炉等。立式炉管是主流设计，具备高均匀性和自动化能力。
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#扩散炉管是不是工艺里面最轻松的
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