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建筑材料
石墨烯石英晶圆的 CVD 制备路线
2025-11-03 11:01
石墨烯石英晶圆的 CVD 制备路线
CVD 制备石墨烯石英晶圆的技术路线包括：
金属薄膜上催化生长石墨烯，并转移到石英晶圆上
在石英晶圆上直接生长石墨烯
在金属牺牲层和石英界面生长石墨烯，再去除金属层
#原子沉积工程
#石墨烯薄膜
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#化学气相沉积
#CVD
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