#半导体量测
? 1. 半导体制造中的在线监测垫（Inline Monitor Pad）
在芯片制造过程中，Inline Monitor Pad 是一种嵌入在晶圆切割道（Scribe Line）上的微型测试结构，用于实时监控制造工艺的稳定性与关键参数（如线宽、层间对准、薄膜厚度等）。它位于芯片之间的空白区域，在晶圆切割时会被切除，因此不占用芯片有效面积。
? 1. 半导体制造中的在线监测垫（Inline Monitor Pad）
在芯片制造过程中，Inline Monitor Pad 是一种嵌入在晶圆切割道（Scribe Line）上的微型测试结构，用于实时监控制造工艺的稳定性与关键参数（如线宽、层间对准、薄膜厚度等）。它位于芯片之间的空白区域，在晶圆切割时会被切除，因此不占用芯片有效面积。