






✨宝子们!二手 TEL MARK 8 涂布机来啦~半导体工艺的 “美容师” 非它莫属!
?核心技术狠能打!
涂布精度绝绝子:
旋转涂布转速 0-10000rpm 可调,膜厚均匀性 ±1%,能涂出仅数十纳米的超薄光刻胶层?
自动边缘珠处理(EBR)+ 边缘清洗(EAC),杜绝涂布边缘溢料,强迫症看了都舒服~
多功能工艺适配:
支持光刻胶、聚酰亚胺(PI)、底部抗反射层(BARC)等多种材料涂布,半导体前道 / 后道工艺通吃
配备真空吸附晶圆台,12 英寸晶圆也能稳稳 hold 住,翘曲晶圆也不怕?
智能工艺控制:
多段式转速编程(最多 8 段),可精准控制涂布甩胶过程,适配不同粘度材料
内置温湿度监控 + 自动清洁系统,工艺稳定性拉满⚡️
?适用场景超广泛!
芯片制造:光刻前的光刻胶涂布、多层布线的介质层涂布
MEMS 制造:传感器结构的超薄薄膜制备
先进封装:TSV(硅通孔)工艺中的绝缘层涂布
科研院校:新材料涂布工艺研发与实验
#TEL #MARK8 #涂布机 #半导体设备 #光刻工艺 #二手仪器 #二手设备 #芯片 #科研 #芯片制造
?核心技术狠能打!
涂布精度绝绝子:
旋转涂布转速 0-10000rpm 可调,膜厚均匀性 ±1%,能涂出仅数十纳米的超薄光刻胶层?
自动边缘珠处理(EBR)+ 边缘清洗(EAC),杜绝涂布边缘溢料,强迫症看了都舒服~
多功能工艺适配:
支持光刻胶、聚酰亚胺(PI)、底部抗反射层(BARC)等多种材料涂布,半导体前道 / 后道工艺通吃
配备真空吸附晶圆台,12 英寸晶圆也能稳稳 hold 住,翘曲晶圆也不怕?
智能工艺控制:
多段式转速编程(最多 8 段),可精准控制涂布甩胶过程,适配不同粘度材料
内置温湿度监控 + 自动清洁系统,工艺稳定性拉满⚡️
?适用场景超广泛!
芯片制造:光刻前的光刻胶涂布、多层布线的介质层涂布
MEMS 制造:传感器结构的超薄薄膜制备
先进封装:TSV(硅通孔)工艺中的绝缘层涂布
科研院校:新材料涂布工艺研发与实验
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