
宝子们~二手 ULVAC UNA2200 去胶机可是半导体清洗的 “得力小帮手” 哦?
它专门处理 200mm(8 英寸)晶圆的去胶工作,这尺寸在中小厂生产线里超常见!去胶效果超干净 —— 残留胶量能控制在 0.05mg / 片以下,连晶圆边缘和背面的细微胶渣都能清得干干净净,完全不会留 “小尾巴”✨
效率也很在线呀~每小时能稳定处理 18-22 片晶圆,不管是光刻后的光刻胶去除,还是离子注入后的残留胶剥离都能搞定。它用等离子体去胶技术(搭配 O₂/CF₄混合气体),气体流量控制精度达 ±1%,反应腔还是抗腐蚀材质,二手设备只要保养得好,去胶均匀性依旧能保持 95% 以上~
而且超百搭!正性、负性光刻胶都能处理,射频功率(0-800W)还能灵活调节,适配不同工艺需求。很多中小厂都爱用它,既能快速融入生产线,又能保证清洗效果,实用性直接拉满啦?
#芯片 #二手设备 #半导体设备 #去胶机
它专门处理 200mm(8 英寸)晶圆的去胶工作,这尺寸在中小厂生产线里超常见!去胶效果超干净 —— 残留胶量能控制在 0.05mg / 片以下,连晶圆边缘和背面的细微胶渣都能清得干干净净,完全不会留 “小尾巴”✨
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