
宝子们~二手 TEL TE5000ATC 涂胶显影机可是光刻环节的 “贴心小助手” 哦✨
它最核心的本事是搞定 300mm(12 英寸)晶圆的涂胶和显影工作 —— 这尺寸现在芯片生产超常用!涂胶均匀性超绝,光刻胶厚度均匀性能控制在 ±1% 以内,就像给晶圆 “涂防晒霜” 一样薄厚一致,连边缘部分都能照顾到,完全不会有积胶或漏涂~
显影精度也很能打,线宽控制误差能压到 ±2nm,纳米级的图案显影后边缘超清晰。效率方面也在线,每小时能稳定处理 25-30 片晶圆,而且自带 ATC(自动温度控制)功能,能提前把晶圆温度调到最佳状态,让涂胶显影更稳定。
它的腔体密封性超棒,搭配高精度的胶量控制系统,就算是二手设备,保养好的话工艺一致性依旧很能打。不管是逻辑芯片还是存储芯片的光刻配套,都能完美适配,很多中小厂扩产时都爱选它,毕竟能兼顾效率和精度,性价比感拉满呀?
#芯片 #二手设备 #半导体设备 #涂胶显影机
它最核心的本事是搞定 300mm(12 英寸)晶圆的涂胶和显影工作 —— 这尺寸现在芯片生产超常用!涂胶均匀性超绝,光刻胶厚度均匀性能控制在 ±1% 以内,就像给晶圆 “涂防晒霜” 一样薄厚一致,连边缘部分都能照顾到,完全不会有积胶或漏涂~
显影精度也很能打,线宽控制误差能压到 ±2nm,纳米级的图案显影后边缘超清晰。效率方面也在线,每小时能稳定处理 25-30 片晶圆,而且自带 ATC(自动温度控制)功能,能提前把晶圆温度调到最佳状态,让涂胶显影更稳定。
它的腔体密封性超棒,搭配高精度的胶量控制系统,就算是二手设备,保养好的话工艺一致性依旧很能打。不管是逻辑芯片还是存储芯片的光刻配套,都能完美适配,很多中小厂扩产时都爱选它,毕竟能兼顾效率和精度,性价比感拉满呀?
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