
?来认识半导体光刻的 “均匀涂布小能手”——TOKYO TR6132UD-BF 涂布机!它就像给晶圆 “涂防晒霜” 的高手,能把光刻胶均匀地铺在晶圆表面,为后续图案转移打基础,堪称芯片制造的 “打底大师” 哦~
✨参数小亮点:
支持 200mm 晶圆尺寸,适配主流成熟制程?;涂布厚度控制超精准,误差能压到 ±1% 以内(比如涂 1μm 厚的胶,偏差不到 0.01μm);每小时能 “打扮” 80 + 片晶圆,速度嗖嗖的⚡;
?采用旋转涂布 + 边缘控制技术,胶膜既平整又能避免边缘积胶,就像给晶圆做 “无痕粉底”;自带恒温恒湿腔体(温度 ±0.1℃,湿度 ±2%),保证涂布环境超稳定;自动化程度拉满,能和前后工序设备无缝对接,二手复用也能稳如老狗,特别适合中小晶圆厂的光刻胶涂布环节~
它的工作原理就像给晶圆 “刷均匀油漆”,胶膜质量直接影响后续图案清晰度 —— 这种给芯片 “打完美底妆” 的设备,是不是比化妆时的粉底刷还靠谱?? 你们觉得它和蛋糕裱花机比,谁更擅长 “均匀涂抹” 呀?
#二手设备 #半导体设备 #芯片 #涂布机
✨参数小亮点:
支持 200mm 晶圆尺寸,适配主流成熟制程?;涂布厚度控制超精准,误差能压到 ±1% 以内(比如涂 1μm 厚的胶,偏差不到 0.01μm);每小时能 “打扮” 80 + 片晶圆,速度嗖嗖的⚡;
?采用旋转涂布 + 边缘控制技术,胶膜既平整又能避免边缘积胶,就像给晶圆做 “无痕粉底”;自带恒温恒湿腔体(温度 ±0.1℃,湿度 ±2%),保证涂布环境超稳定;自动化程度拉满,能和前后工序设备无缝对接,二手复用也能稳如老狗,特别适合中小晶圆厂的光刻胶涂布环节~
它的工作原理就像给晶圆 “刷均匀油漆”,胶膜质量直接影响后续图案清晰度 —— 这种给芯片 “打完美底妆” 的设备,是不是比化妆时的粉底刷还靠谱?? 你们觉得它和蛋糕裱花机比,谁更擅长 “均匀涂抹” 呀?
#二手设备 #半导体设备 #芯片 #涂布机