化工塑胶
二手ASML PAS 5500/1150C光刻机
2025-11-02 19:06
二手ASML PAS 5500/1150C光刻机

二手ASML PAS 5500/1150C光刻机

宝子们!今天来唠半导体光刻圈的 “成熟工艺顶流”—— 二手 ASML PAS 5500/1150C 光刻机~? 别看它是经典款,在 250nm-500nm 成熟工艺里的 “雕刻实力” 依旧超能打,参数党快搬好小凳子,全是好懂又实用的干货呀!

它的曝光波长超适配成熟工艺!采用 365nm i-line 紫外光,刚好拿捏功率芯片、传感器、汽车电子这些常用领域的光刻需求,不管是给硅片刻蚀电源管理电路,还是绘制 MEMS 器件的细微结构,都能把线条刻得规整又清晰,像给晶圆 “画工艺图” 时拿了 “精准微米笔”~✨ 而且支持 8 英寸晶圆兼容,贴合主流成熟产线规格,换片操作顺顺当当,日常用着超省心~

分辨率和对准精度也超靠谱!最小分辨率≤0.35μm,对准精度≤70nm,哪怕是芯片上比发丝细几十倍的线路,它都能稳稳复刻,晶圆内光刻均匀性还超棒,每片芯片的参数一致性拉满,再也不用怕 “局部线条歪歪扭扭” 啦~? 每小时晶圆处理量(WPH)≥60 片,效率在线,不管是科研赶实验进度,还是中小规模产线量产,都能跟得上节奏~

更贴心的是,它自带自动曝光剂量校准和光刻胶适配调节功能,不用反复手动调参数,对新手超友好,连复杂的厚胶光刻都能 hold 住,简直是 “温柔又靠谱的工艺搭档”~? 有没有宝子用过这款光刻机呀?比如做功率器件或汽车电子芯片时,有没有过 “调一次参数就精准出图” 的小惊喜?评论区快来分享你的 “光刻小经历”,一起唠唠成熟工艺里的小成就感~? 总之这款 PAS 5500/1150C 性能稳、适配广,妥妥的成熟工艺好帮手,真心值得关注~?


#光刻机 #半导体设备 #芯片 #二手设备
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