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化工塑胶
一文读懂半导体干法蚀刻Etch机台简单分类
2025-11-02 19:04
一文读懂半导体干法蚀刻Etch机台简单分类
蚀刻是半导体制造的核心工艺，用于将光刻胶图形转移到晶圆表面。根据被刻材料、工艺类型、等离子体源和反应室结构，蚀刻机台分为介质蚀刻机、硅蚀刻机和金属蚀刻机等。干法蚀刻技术结合化学反应和物理轰击，是主流技术。
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