














知识星球(星球名:芯片制造与封测社区)里的学员问:光刻胶单体是什么?有哪些类型?售价多少?
什么是单体?光刻胶由树脂(Resin),感光剂(Sensitizer),溶剂(Solvent),添加剂(Additives)构成。而单体则是在聚合过程中形成光刻胶中的树脂。单体有哪些种类?
主要有:
1,4,4-联苯二甲醛2,4,4\'-双(羟甲基)联苯3,4-羟基苯乙烯4,1,1-二甲基乙基4-乙烯基苯基碳酸酯5,1,3-二羟基金刚烷6,1-甲基丙烯酰氧基-3-金刚烷醇7,1-丙烯酸金刚烷基酯8,丙烯酸二环戊酯9,2-异丙基-2-金刚烷基甲基丙烯酸酯10,1,3-金刚烷二醇二丙烯酸酯11,4-乙烯基苯酚醋酸酯12,2-乙基-2-金刚烷基甲基丙烯酸酯等等等等。单体合成的工艺路线?单体种类繁多,这里我们以4,4’-联苯二甲醛为例,摘录了专利CN201010000036.1 《一锅法合成4,4’-联苯二甲醛的方法》中的合成方法:
环己烷和硫酰氯的混合:
在配有回流冷凝器的反应器中加入4 mL环己烷。
加入40.0 g(0.33 mol)硫酰氯(SOCl2),在搅拌下冷却至大约10°C。
N,N-二甲基甲酰胺的滴加:
慢慢滴加22.0 g(0.3 mol)N,N-二甲基甲酰胺到冷却的混合物中。
搅拌反应0.5-2小时以形成Vilsmeier配位络合物。
联苯溶液的滴加:
滴加16.0 g(0.1 mol)已溶解在环己烷中的联苯溶液。
滴加完毕后,将温度升至80-90°C。
在此温度下搅拌反应8小时。
反应混合物的冷却:
反应完成后冷却至室温。
水的滴加和pH调整:
在冰水冷浴中,慢慢向反应液中滴加冰水。
滴加完毕后,在冰浴冷却条件下,慢慢加入30%氢氧化钠溶液直到pH达到5-6。
产物的分离和纯化:
沉淀形成黄色片状晶体。
抽滤分离沉淀物并得到滤饼。
滤饼重结晶以进一步纯化。
真空干燥得到最终产物。
产物的鉴定和收率:
得到的4,4’-联苯二甲醛重量为15.2 g。
测定熔点为139-141°C。
通过高效液相色谱法(HPLC)测定纯度大于98.0%。
收率大于70%。
单体价格?
一般的 I线单体售价约为150元/公斤,KrF单体售价约为800元/公斤,ArF的单体售价约为3000-10000元/公斤不等.
什么是单体?光刻胶由树脂(Resin),感光剂(Sensitizer),溶剂(Solvent),添加剂(Additives)构成。而单体则是在聚合过程中形成光刻胶中的树脂。单体有哪些种类?
主要有:
1,4,4-联苯二甲醛2,4,4\'-双(羟甲基)联苯3,4-羟基苯乙烯4,1,1-二甲基乙基4-乙烯基苯基碳酸酯5,1,3-二羟基金刚烷6,1-甲基丙烯酰氧基-3-金刚烷醇7,1-丙烯酸金刚烷基酯8,丙烯酸二环戊酯9,2-异丙基-2-金刚烷基甲基丙烯酸酯10,1,3-金刚烷二醇二丙烯酸酯11,4-乙烯基苯酚醋酸酯12,2-乙基-2-金刚烷基甲基丙烯酸酯等等等等。单体合成的工艺路线?单体种类繁多,这里我们以4,4’-联苯二甲醛为例,摘录了专利CN201010000036.1 《一锅法合成4,4’-联苯二甲醛的方法》中的合成方法:
环己烷和硫酰氯的混合:
在配有回流冷凝器的反应器中加入4 mL环己烷。
加入40.0 g(0.33 mol)硫酰氯(SOCl2),在搅拌下冷却至大约10°C。
N,N-二甲基甲酰胺的滴加:
慢慢滴加22.0 g(0.3 mol)N,N-二甲基甲酰胺到冷却的混合物中。
搅拌反应0.5-2小时以形成Vilsmeier配位络合物。
联苯溶液的滴加:
滴加16.0 g(0.1 mol)已溶解在环己烷中的联苯溶液。
滴加完毕后,将温度升至80-90°C。
在此温度下搅拌反应8小时。
反应混合物的冷却:
反应完成后冷却至室温。
水的滴加和pH调整:
在冰水冷浴中,慢慢向反应液中滴加冰水。
滴加完毕后,在冰浴冷却条件下,慢慢加入30%氢氧化钠溶液直到pH达到5-6。
产物的分离和纯化:
沉淀形成黄色片状晶体。
抽滤分离沉淀物并得到滤饼。
滤饼重结晶以进一步纯化。
真空干燥得到最终产物。
产物的鉴定和收率:
得到的4,4’-联苯二甲醛重量为15.2 g。
测定熔点为139-141°C。
通过高效液相色谱法(HPLC)测定纯度大于98.0%。
收率大于70%。
单体价格?
一般的 I线单体售价约为150元/公斤,KrF单体售价约为800元/公斤,ArF的单体售价约为3000-10000元/公斤不等.