
1、明确关联
1)直接合作类
605588冠石科技
掩膜版
833509同惠电子
精密阻抗等测试设备
300260新莱应材
超高洁净管路、特气等
603690至纯科技
湿法清洁设备
300786国林科技
清洗设备
300917特发服务
物业服务
2)资本关联类
002338奥普光电
合资成立长光集智
000006深振业A/000045深纺织A
借壳标的
000014沙河股份
借壳二线
2、产业链
1)传有合作
301013利和兴
精密结构件、自动化测试夹具
688503聚合材料
7nm掩膜版国产化
300666江丰电子
国内唯一5nm制程靶材量产
301128强瑞技术
超精密结构件
301307美利信
刻蚀设备腔体
2)关键材料
300346南大光电
ArF光刻胶
688401路维光电
40-55nm光掩膜版
300429强力新材
国内唯一ACF异方性导电胶膜厂商
688596正帆科技
气体输送模组GasBox
603324盛剑环境
泛半导体工艺废气治理系统及关键设备
002549凯美特气
设备清洗气体
3、协同与配套
301021英诺激光
量产工业深紫外激光器,用于设备检测
688072拓荆科技
薄膜沉积设备龙头
300567精测电子
检测设备核心,多重曝光技术
300293蓝英装备
清洗沉积设备
4、国产之光
光刻胶及材料
603650彤程新材
ArF光刻胶国产量产
300236上海新阳
晶圆级光刻胶主力
300655晶瑞电材
i线光刻胶量产
300576容大感光
LCD/TFT光刻胶市占领先
半导体材料
603306华懋科技
封装材料核心
300054鼎龙股份
掌握CMP抛光液全流程
002324普利特
高分子材料如工程塑料
光刻机核心/光学、光源等
688502茂莱光学
光学部件龙头如DUV透镜
002222福晶科技
光源核心晶体、全球非线性光学晶体市占超60%
603290永新光学
超精密光学组件
301419波长光电
光刻物镜组件
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1)直接合作类
605588冠石科技
掩膜版
833509同惠电子
精密阻抗等测试设备
300260新莱应材
超高洁净管路、特气等
603690至纯科技
湿法清洁设备
300786国林科技
清洗设备
300917特发服务
物业服务
2)资本关联类
002338奥普光电
合资成立长光集智
000006深振业A/000045深纺织A
借壳标的
000014沙河股份
借壳二线
2、产业链
1)传有合作
301013利和兴
精密结构件、自动化测试夹具
688503聚合材料
7nm掩膜版国产化
300666江丰电子
国内唯一5nm制程靶材量产
301128强瑞技术
超精密结构件
301307美利信
刻蚀设备腔体
2)关键材料
300346南大光电
ArF光刻胶
688401路维光电
40-55nm光掩膜版
300429强力新材
国内唯一ACF异方性导电胶膜厂商
688596正帆科技
气体输送模组GasBox
603324盛剑环境
泛半导体工艺废气治理系统及关键设备
002549凯美特气
设备清洗气体
3、协同与配套
301021英诺激光
量产工业深紫外激光器,用于设备检测
688072拓荆科技
薄膜沉积设备龙头
300567精测电子
检测设备核心,多重曝光技术
300293蓝英装备
清洗沉积设备
4、国产之光
光刻胶及材料
603650彤程新材
ArF光刻胶国产量产
300236上海新阳
晶圆级光刻胶主力
300655晶瑞电材
i线光刻胶量产
300576容大感光
LCD/TFT光刻胶市占领先
半导体材料
603306华懋科技
封装材料核心
300054鼎龙股份
掌握CMP抛光液全流程
002324普利特
高分子材料如工程塑料
光刻机核心/光学、光源等
688502茂莱光学
光学部件龙头如DUV透镜
002222福晶科技
光源核心晶体、全球非线性光学晶体市占超60%
603290永新光学
超精密光学组件
301419波长光电
光刻物镜组件
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