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仪器仪表
真空镀膜机真空度不稳定怎么办？
2025-11-02 07:01
真空镀膜机真空度不稳定怎么办？
真空镀膜机常见问题介绍——真空度不稳定或波动
可能原因：
1、真空计传感器故障或污染。
2、真空泵性能下降（如罗茨泵轴承磨损）。
3、外部环境温度变化影响真空系统。
解决方法：
1、清洁或更换真空计，校准传感器。
2、检修或更换真空泵关键部件。
3、保持设备工作环境温度稳定。
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