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化工塑胶
光刻图案脱落，光刻求助
2025-11-01 04:49
光刻图案脱落，光刻求助
4寸晶圆，用的4620光刻胶，先用HMDS2000转旋涂40秒，光刻胶6000转，膜厚6微米，前烘100度6分钟，曝光完显影后发现部分光刻图形呈这种半圆形脱落，会是什么问题呢？
#光刻胶
#fab
#半导体工艺
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